迈克尔逊干涉仪在压电陶瓷材料中的应用.pdfVIP

　第 38 卷第 5 期 　 中　国　陶 　瓷 Vol . 38 No . 5 2002 年 10 月 CHINA 　CERAMICS Oct . 2002 　 迈克尔逊干涉仪在压电陶瓷材料中的应用 1 2 江惠民 , 江群会 ( 1 景德镇陶瓷学院 机电系 ; 2 景德镇陶瓷职工大学) 摘 　要 : 本文分析了在迈克尔逊干涉仪基础上设计的测量压电陶瓷材料的逆压电系数以及由表面膜层形成 迈克尔逊干涉条纹的原理及方法 ,并介绍了它们的重要应用 。 关键词 : 迈克尔逊干涉仪 ; 压电陶瓷 ; 逆压电系数 ;膜层 中图分类号 : TQ 174 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 100 1 - 9642 (2002) 05 - 0034 - 02 速度最小 ,光拍最疏 。可见 ,随着时间的变化 ,光拍信号 1 　前 　言 是一个具有一定周期性的变频信号 ,其周期为原振动信 迈克尔逊干涉仪是根据光的干涉原理制成的精密 号周期的 1/ 2 。对应于振动位移峰谷两处 ,我们可在光 测量仪器 , 它可精密地测量长度及长度的微小变化率 拍信号的一个周期中读出光拍个数N ,则M 的振动位移 等 。在现代科学技术中有着广泛的应用 。压电陶瓷材 峰值为 : λ (2) 料就是一种在电场作用下会产生伸缩效应 ,且伸缩量极 Am = N / 4 小的一种材料 ,普通检测方式难以凑效 。如将迈克尔逊 干涉仪的反射镜 M 粘在压电陶瓷片上 ,就可以测量出 其逆压电系数 。对于在基片上生长有透明介质膜层的 厚度测定 ,用一般方法测定也是困难的,若将样品置于 迈克尔逊干涉光路的一臂 , 由膜层前后两表面间的反射 光与来自干涉光路另一臂的反射光将产生两组干涉条 纹 ,根据干涉条纹即可测定膜层厚度 ,具体介绍如下 。 2 　实验原理与方法 2 1 　微振动 在图 1 所示迈克尔逊干涉仪中, P 为分束膜 ,M 为 平面反射镜 。将 M 粘在压电陶瓷片上 , 当压电陶瓷片 受到电激励产生机械震动时就带动 M 移动 。由于在迈 λ 克尔逊干涉仪上 ,M 每移动 / 2 的距离就会产生一个光 干涉的拍信号 。因此根据光拍信号的个数就可以计算 图 1( Fig . 1) 出压电陶瓷片伸缩的距离 。现设压电陶瓷片上加有正 2 2 　平行平面膜层 弦激励电压为 : 在图2 所示平行光照射的迈克尔逊干涉光路中,M1 ( ) π V t = V sin2 f t m 0 为反射镜 ,M ’为M 经A 所成的像 ,p 和p 为膜层的前