金刚石锯片激光开槽的实验研究.pdfVIP

维普资讯 第 14卷 第 2期 应 用 激 光 Vo1．14，No．2 1994年 4月 APPLIBD LAsER April1994 金刚石锯片激光开槽 的实验研究 1每b 、 陈可心 梅宴标 廖健宏 ● — — — — — — ～ — — — — — — 一 (华南师范大学量 电所 广州 510631) ／≮ 提要 报导高功率co2激光加工机对金尉石小锯片的开檀实验，给出了开槽的工艺参数，并讨论了 影响开檀质量的有关技术问题 。 关键调 金刚石，锯片，激光开槽 籼虚稿 -t． r ．— 一 一 — — — 一 J Experim entalStudyon LaserSlottingofD iam ond Saw ChenKexi~，MeiYanbiao，LiaoJmnhong ls l】ceofQuml~um ~lectronics，Sou~11ChinaNormalUniversity,Gua~gzhou，510631) Abstract Theexperim en~on slottingofdiamond smal1 w byusingahigh-powerCO2 laserprocessing system isreported in th埴paper．Theslottingtechnologicalparametersaregiven． Therelevan~techologicaIproblemsaffectingslottingquali~yarealsodiscussed、 K y words Laserslotting，diamondsaw 目前建筑业 石材业和民用需求量较大的 (图 1)该系统激光输 出的额定功率为 1500W， 金刚石小锯片 (干切片)多数是靠进 口。原因是 模式是TEMoo模，圆偏振}工作台线性轴的定 以往的千切片大都是用冲压的办法在薄的冷轧 位精度为 +12．7pm／3OSmm，定位重复精度为 钢板上冲压出带槽的干切片基片，再与一块块 +S／~m／305mm，旋转轴的转轴精度为 30秒，颤 烧结成形的金刚石刀头焊接而成。不但需要制 斜轴的精度为 60秒，最大运行速度为 l0米 ／ 造模具，而且工序多、效率低 周期长、精度 分。加工的材料是由碳化钨 铜 铬 、镍合金 差 成本高，故不能满足市场的需要。我们采用 高功率 CO2激光加工机对直接热压烧结成形 的金刚石小锯片进行了激光开槽切割试验。 获得了质量好、精度高、速度快和不用模 具等具有实际意义的结果。 CO2高功率激光加工机的 主要技术性能及加工材料与步骤 加工系统为从美国引进的4020LaserCen． 田 1 加工机示意图 ． 它由D．A．Griffin公司的可四轴联动的工作 台配以 Rofinsinar公司的820型横流 CO2激 1993丰 11月 1 日收璃 光器组成。运转是用四轴 FANUCOM控制。