ch12 湿敏传感器及其应用.pptVIP

3）厚膜陶瓷湿度传感器 厚膜湿度传感器主体部分结构如图所示,是在氧化铝基片上印刷梳状电极,梳状电极相互交错排列并成平行线。 厚膜湿度传感器主体部分结构图 传感器的电阻值与温度、湿度的关系,在常温下,相对湿度大于30%RH时,电阻值小于1MΩ,当湿度从30%RH变化到90%RH时,电阻值约变化三个数量级。温度对电阻-湿度特性有影响,低湿时影响较大,相对湿度不变的情况下,随着温度升高,电阻值变小。 4）薄膜湿度传感器 薄膜湿度传感器的结构一般有两种形式,一种是在硼硅玻璃或蓝宝石衬底上沉积一层氧化物薄膜,然后在薄膜上再蒸发一对梳状电极;另一种是先在硼硅玻璃或蓝宝石衬底上,用真空蒸发方法制作下金电极,再用喷镀法或溅射法生成一层多孔质的氧化物薄膜,然后再在此薄膜上蒸发上金电极,为了让水蒸气顺利通过,金的厚度在70nm左右。薄膜湿度传感器的结构如图所示。 薄膜湿度传感器的结构 Ta2O5薄膜湿度传感器的电容-湿度特性 制作薄膜湿度传感器的主要薄膜材料是Ta2O5和Al2O3。它们都具有很高的热稳定性和化学稳定性,因此用它们制成的湿度传感器能在很高的环境温度下工作。感湿膜很薄,响应时间很快（约1~3s）,特别适宜在高速湿度响应场合下使用。 薄膜湿度传感器的感湿特征量往往都采用电容量,由于纯水的介电常数比较大,当环境相对湿度增加时,薄膜湿度传感器所吸附的水分子增多,因而使电容量增大。图8.40是Ta2O5薄膜湿度传感器的电容—湿度特性。它具有正电容湿度系数。 3．MOSFET湿敏器件 用半导体工艺制成的MOS型场效应管湿敏器件,由于是全固态湿敏传感器,有利于传感 ?器的集成化和微型化,因此是一种很有前途和价值的湿度传感器。图12-20表示MOS型场效应管湿敏器件的典型结构。从图中看出,这种湿敏器件是在MOS型场效应管的栅极上涂覆一层感湿薄膜,在感湿薄膜上增加另一电极而构成的新型湿敏器件。 MOSFET湿敏器件结构 4．结型湿敏器件 利用肖特基结或PN结二极管的反向电流或者反向击穿电压随环境相对湿度的变化,可以制成一种结型湿度敏感器件。在结型湿度敏感器件中,二氧化锡湿敏二极管是比较有代表性的。 这种二极管是采用电阻率为5Ω·cm的N型硅单晶材料制作的。制作过程为：将硅片置于通氧和水汽的、温度达520℃左右的石英管道炉中,使其生成一层SiO2,再在SiO2上淀积一层透明而又导电的SnO2薄膜,最后在硅片的背面和SnO2层上用真空镀膜方法制作金属Al电极。 电极膜的厚度不宜太厚,以便SnO2表面和空气中的水蒸气相接触,理想的厚度为100左右。SnO2具有很好的导电性,因而这种结构的二极管可看作是一个肖特基结或异质结,具有整流特性。上述二极管的结区直接暴露于环境气氛之中,结果发现,在二极管处于反向偏压状态时,在雪崩击穿区附近,其反向电流直接与环境的相对湿度有关,或者说,其反向击穿电压随环境相对湿度而改变,即使二极管具有了感湿特性。图8.44表示二氧化锡湿敏二极管的结构。图 为SnO2湿敏二极管雪崩电流与相对湿度的关系。从图中看出,随着相对湿度增加,反向电流减少。 SnO2湿敏二极管的结构 SnO2湿敏二极管雪崩电流与相对湿度关系 12.5　湿敏传感器的应用 湿敏传感器广泛应用于军事、气象、工业、农业、医疗、建筑以及家用电器等场合的湿度检测、控制与报警 精密测量、气象测量 0~100 0~100 5~100 -50~40 恒温恒湿槽 无线气候监测 测量 空调、防止结露、健康管理 0~100 5~100 40~70 5~40 -10~60 20~25 房屋空调 茶田防霜 养殖 农林畜牧 制丝、窑业木材干燥、窑业原料、磁头、LSI、IC 5~100 0~50 0~50 0~50 0~50 10~30 30~100 5~100 50~100 5~40 纤维 干燥器 粉体水分 干燥食品 电子部件生产 工业 呼吸器系统、空调 80~100 50-80 10~30 10~30 治疗器 保健设备 医疗 防止结露 50~100 -20~80 散热器 汽车 空调、烘干机、食品加热、烹调控制、防止结露 40~70 0~10 2~100 60~100 5~40 5~80 5~100 -5~60 空调机器 干燥机 电子炊具 VTR 家用电器 湿度%RH 温度℃ 备注 使用温度、湿度范围 使用设备 应用领域 1、直读式湿度计 图中RH为氯化锂湿敏传感器。由VT1、VT2、T1等组成测湿电桥