碲锌镉探测器晶片退火新工艺.pdfVIP

纪念马祖光院士全国光电子与光电信息技术学术研讨会论文集·哈尔滨2006 碲锌镉探测器晶片退火新工艺 高德友，赵北君，朱世富，唐世红，何知宇，陈俊，张建军，张冬敏，方军 (四川大学材料科学系610064) 摘要：本文报道了一种CZT探测器晶片退火的新装置和新工艺，该装置可以方便有效的对CZT单晶片进行同成分源退火 体的均匀性得到改善。 关键词：碲锌镉单晶片；退火；电阻率；XPS分析；红外透射谱 forDetectors ANew of Wafers Cdl．xZnxTe AnnealingTechnique GAO JuIl’ Shi一虬TANGShi-ho唱HEZhi-yu,CHEN