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第九章 扫描电子显微镜 Light vs Electron Microscope 概 述 扫描电子显微镜（Scanning E lectron Microscope，简称SEM）是继透射电镜之 后发展起来的一种电子显微镜。 扫描电子显微镜是以类似电视摄影的方 式，利用细聚焦电子束在样品表面扫描时 激发出来的各种物理信号来调制成像的。 扫描电镜能完成： 表(界)面形貌分析； 配置各种附件，做表面成分分析及表层晶 体学位向分析等。 SEM 1 扫描电镜的特点和工作原理 特点 仪器分辨本领较 。二次电子像分辨本领可达 1.0nm(场发射),3.0nm(钨灯丝)； 仪器放大倍数变化范围大 （从几倍到几十万 倍），且连续可调； 图像景深大，富有立体感。可直接观察起伏较大 的粗糙表面（如金属和陶瓷的断口等）； 试样制备简单。只要将块状或粉末的、导电的或 不导电的试样不加处理或稍加处理，就可直接放 到SEM中进行观察。一般来说，比透射电子显微镜 （TEM）的制样简单，且可使图像更近于试样的真 实状态； 特点 可做综合分析。 SEM装上波长色散X射线谱仪（WDX） （简称波 谱仪）或能量色散X射线谱仪（EDX）（简称能 谱仪）后，在观察扫描形貌图像的同时，可对试 样微区进行元素分析。 装上不同类型的试样 台和检 器可以直接 观察处于不同环境 （加热、冷却、拉伸 等）中的试样显微结 构形态的动态变化过 程 （动态观察）。 工作原理 扫描电镜的成像原理，不是用电 磁透镜放大成像，而是逐点逐行扫描 成像。 由电子枪发射出来的电子束，在加速 电压作用下，经过2-3个电磁透镜聚 焦后，会聚成一个细的电子束。在末 级透镜上边装有扫描线圈，在它的作 用下电子束在样品表面按顺序逐行进 行扫描。 能电子束与样品物质的交互作用, 激发样品产生各种物理信号，如二次 电子、背散射电子、吸收电子、X射 线、俄歇电子和透射电子等。其强度 随样品表面特征而变化。 这些物理信号分别被相应的收集器接 受，经放大器按顺序、成比例地放大 扫描电子显微镜结构原理框图 后,送到显像管,调制显像管的亮度。 工作原理 供给电子光学系统使电子束 偏向的扫描线圈的电源也是 供给阴极射线显像管的扫描 线圈的电源，此电源发出的 锯齿波信号同时控制两束电 子束作同步扫描。 因此，样品上电子束的 位置与显像管荧光屏上电子 束的位置是一一对应的。 扫描电镜就是这样采用逐点成像的方法，把样品表面不同 的特征，按顺序、成比例地转换为视频传号，完成一帧图 像，从而使我们在荧光屏上得到与样品表面特征相对应的 图像 某种信息图，如二次电子像、背散射电子像等。 画面上亮度的疏 程度表示该信息的强弱分布。 2扫描电镜成像的物理信号 扫描电镜成像所用的 物理信号是电子束轰 击固体样品而激发产 生的。具有一定能量 的电子，当其入射固 体样品时，将与样品 内原子核和核外电子 发生弹性和非弹性散 射过程,激发固体样品 产生多种物理信号。 入射电子轰击样品产生的物理信号 一、背散射电子 （backscattering electron） 背散射电子是指被固体样品中的原子反弹回来的一部分入 射电子。 其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。 弹性背散射电子是指被样品中原子核反弹回来的散射角大 于90的那些入射电子，其能量基本上没有变化。 弹性背散射电子的能量为数千到数万电子伏。 非弹性背散射电子是入射电子和核外电子撞击后产生非弹 性散射而造成的，不仅能量变化，方向也发生变化。 如果有些电子经多次散射后仍能反弹出样品表面，这就形 成非弹性背散射电子。 一、背散射电子 （backscattering electron） 非弹性背散射电子的能量分布范围很宽， 从数十电子伏到数千电子伏。 从数量上看，弹性背散射电子远比非弹性 背散射电子所占的份额多。 背散射电子的产生范围在1000 Å到1 mm 深，由于背散射电子