低温氢化非晶硅薄膜晶体管研究.pdfVIP

第 3 1 卷 　第 3 期 电 子 器 件 Vol . 3 1 　N o . 3 2008 年 6 月 　　　 Chinese J our nal Of Elect r on Devices 　　 J un . 2008 Research on Low Temperature aSi :H Thin Fil m Transistor YI M aox i ang , M A O J i anbo , C H E N X i angd ong ( ) S chool of S cience , H ef ei Uni