机械制造基础 教学配套课件 李长河 6.2.pdfVIP

6.2 超精密加工技术 6.2.1 超精密加工技术内涵及特点 1. 超精密加工定义 精密和超精密是相对而言，在不同的时期 精密和超精密是相对而言，在不同的时期 有不同的界定。从目前的发展水平来看加工精 有不同的界定。从目前的发展水平来看加工精 度在0.1µm～1µm，加工表面粗糙度在 度在0.1µm～1µm，加工表面粗糙度在 Ra0.02µm～0.1µm之间的加工方法称为精密 Ra0.02µm～0.1µm之间的加工方法称为精密 加工；加工精度高于0.1µm，加工表面粗糙度 加工；加工精度高于0.1µm，加工表面粗糙度 小于Ra0.01µm之间的加工方法称为超精密加 小于Ra0.01µm之间的加工方法称为超精密加 工。 工。 《机械制造技术基础》主编 李长河 第6章 先进制造技术 6.2 超精密加工技术 6.2.1 超精密加工技术内涵及特点 2 ．超精密加工特点  1）超精密加工时，对刀具的刃磨、砂轮修整和机床调整 均有很高要求。  2 ）超精密加工是一门综合性高技术，凡是影响加工精度 和表面质量的因素都要考虑。  3 ）超精密加工一般采用计算机控制、在线控制、自适应 控制、误差检测和补偿等自动化技术来保证加工精度和表 面质量。  4 ）超精密加工不仅有传统的切削和磨削加工,只有综合应 用各种加工方法，才能得到很高的加工精度和表面质量。 《机械制造技术基础》主编 李长河 第6章 先进制造技术 6.2 超精密加工技术 6.2.1 超精密加工技术内涵及特点 3．超精密加工应用 超精密加工是尖端技术产品发展不可缺 少的关键加工手段，不管是军事工业还是民 用工业，都需要这种先进的加工技术。 4 ．超精密加工的分类 •超精密切削 •超精密磨削 •超精密研磨和抛光 《机械制造技术基础》主编 李长河 第6章 先进制造技术 6.2 超精密加工技术 6.2.2 超精密加工关键技术 超精密加工的关键技术包括：超精密加工机 理、超精密加工工具技术、超精密加工机床制造 技术、在线检测与误差补偿技术等。 1．超精密加工工具技术 2 ．超精密加工机床 超精密加工机床是实现超精密加工的首要条件，目 前超精密加工机床一般是采用高精度空气静压轴承支撑 主轴系统，空气静压导轨支撑进给系统的结构模式。 《机械制造技术基础》主编 李长河 第6章 先进制造技术 6.2 超精密加工技术 6.2.2 超精密加工关键技术 3．在线检测与误差补偿 4 ．超精密加工的工作环境 超精密加工必须在超稳定的环境下进行。超 稳定环境主要是指恒温、超净和防振三个方面。 《机械制造技术基础》主编 李长河 第6章 先进制造技术