石英晶体微量天平.pdfVIP

北大口腔医院 2004 级在职研究生 ZS24041 吕亚林 email:lvyalin@ 电话 石英晶体微天平研究进展与展望 摘要：本文综述了石英晶体微天平的基本原理、称量灵敏度的特性、结构、重要性能及其在化学、生物医 学等方面的应用情况，探讨了其存在的问题和发展趋势。 关键词：石英晶体微天平 传感器 QCM —6 —9 引言：石英谐振器作为微量称量工具，可以测出 10 —10 的质量，相当于一架超微量电子天平。将 被测成分沉积或吸附在石英谐振器的振动部位，就可以测出其质量和含量。这种仪器装置被称为石英晶体 微天平QCM（Quartz Crystal Microbalance）。石英晶体微天平对过程质量和体系性状（密度、粘度、电 导率、介电常数等）变化非常敏感，具有ng级的质量检测能力⑴ ，能够检测微观过程中的微小变化，获取 丰富的信息，为研究微观变化过程，破译微观作用机理等提供了一种强有力的手段。正因为如此，QCM近 年来获得了迅速发展，已广泛用于化学、材料、生物和医学等多个领域的研究。 一、QCM 基本原理 石英晶体微天平是基于石英晶体的压电效应对其电极表面质量变化进行测量的仪器。1880 年Pierre Curie和Jacques Curie兄弟发现石英晶体具有压电效应。在石英晶片加一电场，晶片会产生机械变形。相 （2） 反，若在晶片上施加机械压力，则在晶片相应的方向上产生一定的电场，这种现象称为压电效应 。在石 英表面上加上电位差，就会引起石英表面机械振动。 QCM作为一种非常敏感的传感器，是以AT切石英晶体作为接受器和能量转换器，利用石英的压电性质 实现能量转换和传感的。石英晶体属D3点群、三方晶系洁净的各向异性体，具有X轴 （电轴）Y轴 （机械轴） Z轴 （光轴）三个结晶轴 （3-4） 。在X轴或Y轴方向施加压力或拉力，晶体由于形变极化而在相应的晶面上产生 等量的正、负电荷 （加压与拉伸产生的电荷极性相反），在Z轴方向施加外力，因硅、氧离子作对称平移， 无电荷形成，这就是石英晶体的正压电效应。反过来，当晶片上加上电场则在晶体某些方向出现应变，这 种应变与电场强度间存在线性关系，如果电场是交变电场，则在晶格内引起机械震荡，震荡的频率即晶体 的固有频率与震荡电路的频率一致时，便产生共振，此时振荡最稳定，测出电路的振荡频率便可得出晶体 的固有频率。石英是具有压电性质的物质之一，当外加交变电压的频率为某一特定频率时，石英晶片振幅 会急剧增加，这就是压电谐振。QCM即是根据这种原理设计出来的。 1959 年G．Z．Sauerbrey导出了石英晶体电极表面沉积的金属膜质量与石英晶体频率变化之间的 (5) 关系式 ： f：石英谐振器的基频(Hz)； 1 北大口腔医院 2004 级在职研究生 ZS24041 吕亚林 email:lvyalin@ 电话 N：石英晶体的频率常数，与石英晶体的切型有关； 5 AT切型：N＝1．67×10 Hz·cm； 5 BT切型：N＝2．50×10 Hz·cm； 3 ρ：石英的密度(2．65g／cm)； 2 S：石英谐振器电极的面积cm ； ⊿f：石英谐振器频率的变化(Hz)；