硅双极型晶体管的可缩放METMXRA模型及参数提取.pdfVIP

第 35卷第 5期 微 电 子 学 Vo1．35．№ 5 2005年 1O月 ^靠croelectronics Ocu2005 文章编号：1004-3365(2005)05—0445-*04 硅双极型晶体管的可缩放 MEXTRAM 模型及参数提取 池毓宋，黄风义，张少勇，吴忠洁 (东南大学 射频与光电集成电路研究所，江苏 南京 21OO96) 摘 要： 文章在分析Mextram模型缩放性的基础上，介绍了可缩放Mextram模型的参数提取方 法。结合不同几何尺寸的硅双极型晶体管的测试数据，进行 了参数提取。得到的可缩放 Mextram 模型的仿真结果与测试数据吻合得很好。 关键词： 硅双极型晶体管；Mextram；可缩放模型；参数提取 中图分类号： TN402 文献标识码 ： A AScalableMextram ModelandParameterExtractionforSiBJT CHIYu—song，HUANGFeng—yi，ZHANGShao-yong，WU Zhong-jie (InstituteofRadioFrequency＆OptoelectronicIC’S，SoutheastUniversity，Nanjing，Jiangsu210096，P．R．Chitni) Abstract： BasedontheanalysisofthescalabilityofMextram model，aparameterextractionmethodforscalable Mextram modelisdescribed．Also，detailedproceduresofparma eterextractionforsiliconbipolarjunctiontran- sistorsbasedonmeasureddataarepresented．SimulationresultsofthescalableM extrma modelareingoodagree- mentwithmeasureddata． Keywords~ Siliconbipolarjunctiontransistor；Mextrma ；Scalablemodel；Parma eterextraction EEACC： 256oj 型包括Mextram模型，HICUM (HighCUrrentbi- 1 引 言 polarcompacttransistorMode1)模 型，和 VBlC (VerticalBipolarInter-Company)模型等 。其 中， 双极型晶体管 (BJT)在高速 电路和功率电路中 Mextram是一种建立在物理特性上的模型，它不仅 有着广泛的应用。由于在高速、低噪声以及低功耗 能够很好地表征各种工艺所制备的纵向晶体管的特 等方面的性能要求，电路中的器件常常需要在性能 性，包含温度可缩放的公式，而且，其参数具有很好 极限条件下工作。这就要求设计者必须选择最优的 的几何缩放特性。本文首先对 Mextram模型参数 器件尺寸进行电路设计。但是，由于不可能对所有 的缩放性进行了分析 。在此基础上，介绍了可缩放 几何尺寸的晶体管都进行测试并提取模型参数，因 Mextram模型的参数提取方法；最后，结合加工的 此，双极型晶体管的可缩放模型研究对 电路设计有 一 系列不同几何尺寸的晶体管器件 ，进行了模型参 重要意义 。