纳米晶铜中离子注入碳后的组织结构研究.pdfVIP

第 39卷 第 6期 太 原 理 工 大 学 学 报 Vo1．39 NO．6 2008年 11月 J0URNALOFTAIYUAN UNIVERSITY OFTECHN0L0GY Nov． 2008 文 章编 号 ：1007—9432(2008)06—0543—05 纳米晶铜中离子注入碳后的组织结构研究 卫英慧，毕海香，侯利锋，王国栋 ，许并社 (太原理工大学 材料科学与工程学院，山西 太原 030024) 摘 要 ：对 纯铜进 行表 面机械 研 磨处理 (SMAT)，获得 纳 米 晶表 层 ，且 晶粒 尺 寸 沿深度 方 向逐 渐增 大 。采 用 离子 注入 技 术在 纳米 晶纯铜 中注入 碳 ，利 用透-N-电子 显微 镜 (TEM )与 高分 辨 电子 显 微 镜 (HRTEM)进行 原位 动 态观 察 。结果 表 明 ，碳 在基 体 的表 面析 出 ，形成 无 定 形碳 膜 ，在 电子 束 的照射 下形成 洋 葱状 富勒烯 。 同时讨论 了 离子 注入 、电子 束照射 、纳 米 晶结构及 碳 原子 与铜 原子 的 相 互作 用N-x~,洋葱 状 富勒 烯 形成 的影 响 。 关键 词 ：离子 注入 ；碳 ；洋葱状 富勒烯 ；纳 米 晶 ；表 面机械研 磨 处理 中图分类 号 ：TG146．2 文献 标识 码 ：A 20世纪 9O年代初 ，Ugarte_l】首次用高能 电子 终形成碳洋葱 。 束照射碳灰制备 出了球状 富勒烯 。这一发表在 由于纳米晶具有较小的尺寸 ，特别是纳米 晶体 《Nature}杂志上的研究成果 ，最早提 出了 “碳洋 葱” 中晶界 区域 的体积可 以占到整个 晶体体积的 50 (CarbonOnion)的概念 ，激发 了人们对洋葱状富勒 以上 ，使得原子的扩散激活能降低 ，其相应的扩散系 烯的研究热情。迄今为止 ，制备纳米碳洋葱的方法 数变大_1引。因此作者尝试在纳米 晶铜注入碳离子 很多 ，有电子束照射法_l2]、真空热处理法[3]、直流 电 (C )，然后在 HRTEM 下原位观察碳 的析 出和碳 弧法l4]、水下电弧放 电法l5]、离子注入法l6]、化学催 洋葱的形成 ，以弄清碳在纳米晶铜中扩散的特殊性 。 化气相沉积法_7和射频等离子体法_8等。其中水下 电弧放 电法和离子注入法在制备纯度和数量方面都 1 实验方法 有较大优势 ，这有助于人们对这种新型碳材料的性 本试验采用厚度为 6mm 的轧制纯铜板材 (W 能进行深入研究。SanoNl9等在放 电电压 16～17 99．95 )，板材在923K进行真空退火 ，消除机械 V和放电电流 30A的条件下 ，实现 了水下电弧法 加工应力和缺陷的影响。 制备碳洋葱。所获得的纳米颗粒漂浮在水面，经测 将板材裁成 100mm×100mm 的样品进行表 定是由C。为球心的等壳层组织 ，一般为 7～15层 ， 面机械研磨处理 (SMAT)。实验方法 ：在一个 U形 平均直径在 25～30nm之间。这种方法虽然简单 ， 容器 中放置大量的球形弹丸 ，容器上固定样品，下部 但产物中有大量的碳纳米管。这给碳洋葱的提纯带 与振动发生装置相连 ，工作时弹丸在容器 内做高速 来了很大的困难_l】。法国的T．Cabioc’h_】等人在 振动 ，并以随机的方 向与样品表面发生碰撞_l1。本 高温下向铜基体注入碳离子 ，最终得到 了结构完整 试验的主要工艺参数为 ：弹丸为 8mm 的GCrl5 并且纯度很高的碳洋葱。他们在离子束能量为 120 钢球 ，系统的振动频率 50Hz，处理时间为 30min。 keV，温度为 600～1000℃，离 子剂量 为 (1～5)× 采用型号为 3JYZ一8O10Metalionimplantation 10¨cm_。，离子束 电流密度为 1～3肚A／cm 的条件