介质薄膜的厚度和折射率测量的实验研究.pdfVIP

( ) 第 28 卷第 1 期 江西师范大学学报 自然科学版 Vol. 28 No. 1 2004 年 1 月 　 JOURNAL OF J IANGXI NORMAL UNIVERSITY 　Jan. 2003 ( ) 文章编号 :1000 - 5862 2004 01 - 0057 - 03 介质薄膜的厚度和折射率测量的实验研究 邓海东1 ,2 , 　叶志清1 ,2 , 　聂义友1 ,2 , 　饶春芳1 ,2 , 　刘鸿娟1 ,2 ( 1. 江西省光电子重点实验室 ,江西 南昌　330027 ;2. 江西师范大学 通信与电子工程学院 ,江西 南昌　330027) 摘要 :实验用 m - line 法测得三层平板波导在不同阶导模下的有效折射率 ,通过解光波导的色散方程 ,采 用计算机编程拟合 ,有效的得出了介质薄膜的厚度和折射率 ,并给出了各阶模式的光场在波导中的分布. 关键词 :有效折射率 ;m - line 法 ;导模 中图分类号:TN 253 　　　文献标识码 :A 介质薄膜材料是当前信息材料的研究热点 ,一种优质的介质薄膜的制备离不开对其厚度 、折射率的测 量 ,本文根据的m - line 法[1 ,2 ] 的原理 ,通过棱镜耦合的方法 ,对实际的介质薄膜材料 ZnS ,进行了实验测试 , 得到了令人满意的结果 ,所得的实验数据与理论计算的数值符合较好. 1 　实验原理 根据波动方程以及边界条件 ,可以得到如图 1 所示的三层平板波导的色散方程 : π ( ) ( ) ( ) kd = m + arctan p/ k + arctan q/ k 1 　　 式中: 2 2 2 1/ 2 ( β ) ( ) k = - k0 n1 2 　　 2 2 2 1/ 2 ( β) ( ) p = k0 n2 - 3 　　 2 2 2 1/ 2 ( β) ( ) q = k0 n3 - 4 　　 θ β β 其中: k n sin = , 为传播常数, k 为真空中的波数, n 、 0 p 0 1 n2 、n3 、np 分别代表的是薄膜 、衬底 、覆盖层折射率, d 为薄膜 图 1 　三层平板波导的结构 的厚度. 导模的有效折射率 N eff [ 3] 可以定为 :