半导体材料测试技术的现状.pdfVIP

Sun Technology 阳光技术 半导体材料测试技术的现状 苏州市百神科技有限公司 董苏 蔡云凯 摘 要 随着我国太阳能、材料、化工领域的发展以及高新技术的产业化，以前只在实验室应用的半导体测试技术和仪器被广泛应用于生产。但是很多半 导体材料厂家对测试仪器的认识还停留在测定技术参数上，对于不同测试原理所应用的不同场合还不是很清楚，对于这些原因造成的测试误差和危害还没有足 够的认识，因此有必要对相关原理做进一步介绍。 关键词 电阻率 四探针 Semiconductor materials to test the status of technology By Dong Su and Cai Yunkai Abstract As Chinas energy fields and materials,chemical industry,as well as the gradual industrialization of high and new technology,previously only applied in the laboratory of semiconductor test technology and test instruments used in a growing number of entities related manufacturers. However,for many semiconductor materials testing equipment manufacturer remains in the understanding of the technical parameters,test methods for the bad habits and principles of the different test applications on different occasions not clear,for the above reasons caused by the test error and there was not enough against awareness,it is necessary to further the relevant principles of introduction. Key Words Resistivity ，Four- probe resistivity 1 导电型号测试方法和原理 1.1 导电型号测试分类 根据单晶制备时所掺杂的是受主元素 还是施主元素，单晶分为P 型和N 型两 类，目前国内外测量导电型号主要有3 种 方法，即冷热探针法、单探针点接触整流 法、三探针法。现将这几种方法的基本原理 和适用场合进行介绍。 1.1.1 冷热探针法 冷热探针法是利用温差电效应测量半 导体的导电型号，它又分为利用温差电流 a）利用温差电流方法测量 b）利用温差电势极性测量 方向和温差电势极性两种测量方法进行测 图1 冷热探针法测导电类型 量，如图1 所示。在单晶样品上压两根金属 探针（即探笔），一根是热探笔（以用钨材质 如果将检流计按在冷热探针上使之 带负电；而N 型样品的电子多数为载流 为宜）用电阻丝加热，电阻丝采用无感绕 构成闭合回路，就会发现检流针中的光点 子，热端电子的热运动速度大，冷端电子 法，用云母绝缘；另一根冷探笔用不锈钢制 朝某一方向偏转，这表示回路中出现一定 的热运动速度小，在冷热两端之间取某一 成。每根探笔的头部都应为60°圆锥。热 方向的电流，此电流就是温差电流。图2 截面看，从热端到冷端的电子比从冷端到 探笔所用电阻丝功率一般只需10W~25W， 是N 型和P 型样品中温差电动势产生的 热端