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真空科学与技术学报 第31卷第5期 CHINESE OFVACUUMSCIENCEAND1ECHNOIDGY 2011年9、10月 JOURNAL 钴合金表面多层碳薄膜的制备及其性能研究 沟引宁1,2黄楠1。孙鸿1 (1.西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室四川省人工器官表面工程重点实验室成都610031; 2.重庆理工大学材料科学与工程学院重庆400054) Gro叭hand ofC/C Biological TribologicalProperty Multilayers onCo-Cr-MoSubstrate Alloy Gou NanH,Sun Yin试C,一,Huang Hond (1.鼬huanKeyLaboratory ofSu,/o攒砌驴咖of知批迸Orgam,Key Scienceand M/n/ary ofMaterial of&‰口翩,SouthwestJ/aotong矾嗍,c^田础610031,Ch/m;2.hool Engi概,Choo,q垤功渤嘶矿Techndogy,am咖400054,‰) onthe sub- AbstractTheC/C filteredcathodevacuuInarc Co-Cr-Mo by alloy multi·蛳weregrown deposition the its andits Werechal魁c- strate.The of conditionson micmstmctures impactsdeposition biologicaltra,ol删properties tefizedwithRaman force conventionalmechanical resultsshow spectroscopy,atomic probes.The microscopy(AFM)and thatthe of and bondsexistinthe C/C ahard— uniform,smooth,and highdensitysp2 sp3 fairly compactmulti一蜘璐with ne鹤of52 thattheCJC the oftheCo-Cr-Mo GPa,and multi一吣significantlyim

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