磁力微进给系统设计--论文.docVIP

1 前言 1.1 课题研究背景及意义 随着制造技术及机械行业的不断迅速发展，为达到被加工工件的加工尺寸精度和表面质量，微进给装置被广泛应用于精密加工及超精密加工中。例如，在超精密车削中，氮化硼或金刚石刀具的切深要保证在微米级的精度；在轴类零件的非圆加工中，要保证工件的尺寸及形状要求；在超精密磨削中，砂轮的微进给量要求达到几微米甚至百分之微米；在超精密机床的误差补偿进给装置中，位移精度要求更高。因此，在精密加工，特别是超精密加工中，微进给装置起着至关重要的地位 另外，为了满足高精度、高速度的加工要求，微进给装置必须具有三个方面的特性：较高的位移精度，相对较大的程程范围，较高的频率响应。 1.2 微进给机构的发展现状 目前，英国、美国、日本和德国等国家在高频响大行程微进给系统研究方面已经有了许多专利。在我国，一些高等院校和科研单位致力于研究大行程高频响的微进给机构，长沙国防科技大学在1989年研制了一种高频响进给伺服机构，它采用电容传感器作精密位移监测软件，并且在C6250车床上进行了初步试验，当机床转速为700r/min、进给量为0.2mm/r时，加工误差为10um，此时该装置的截止频率可以达到150Hz。 清华大学精仪系机制教研室从1985年就开始研究用于非圆截面加工的高频响伺服进给系统，在实验的基础上相继研发了10N50N200N的推力的高频响微进给机构及其控制系统。该机构的工作