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太阳能硅片生产工艺介绍.pdf
内蒙古鄂尔多斯
300MW铸锭切片厂房
初步方案
成都爱德工程有限公司
20010.3
一、工艺
多晶硅铸锭
(多晶) 铸锭
(单晶) 晶棒
切割工厂 切割制程〉
晶柱
切割工厂 切割制程〉
硅片
多晶硅切片工艺流程
多晶硅铸锭 粘附铸锭 切割铸锭 切除两端面
用大型带锯把铸锭切割成符合规格的晶
用小型带锯切除晶柱上下两
将粘附剂涂沫在铸锭底部,使铸锭在大 柱
端部分
型带锯切割制程中始终固定
粘附制程 大型开方带锯或线锯 去头尾带锯或线锯
主流供应商: 主流供应商:
美国:HCT 美国:HCT
瑞士:MB 瑞士:MB
日本:石井表记 日本:石井表记
中国:无锡上机
多晶硅切片工艺流程
晶柱检测 倒角 研磨 硅锭粘胶
之前 之后
检测晶柱表面的结晶状况。 用粘附剂把晶柱固定在由铝板和
将晶柱的四面棱角研磨成符合要 通过研磨使晶柱表面平坦化
检测晶柱的阻抗值。 璃板组成的夹具上.
求的尺寸
质量低于规格的晶柱将被淘汰 自然硬化或用恒温炉使其硬化。
产品寿命检查设备
主流供应商: 主要是消除硅片应
力,国内大部分厂商
德国:Arnold 阿诺德 未采用此工艺,此工
艺适合高端厂商,可
日本:石井表记
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