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微流控器件金属镍模具的电铸制作.pdf
中国机械工程第16卷第14期2005年7月下半月
微流控器件金属镍模具的电铸制作
张 峰 杨防祖 郝苇苇 周勇亮
厦门大学，厦门，361005
摘要：提出了一种微流控器件金属镍模具的制作方法。首先应用凸角补偿技术以各向异
性湿法腐蚀硅得到呈凹图案的硅基阴模，再在硅基上电铸制作镍阳模。以此阳模为模具经过
浇模、键合批量制作PDMS微流控器件。结果表明镍模具的平整度高，其表面算术平均粗糙
度为0．725“m。多次复制得到的微流控器件重现性好，一致性高，其沟道的下底宽度、上顶宽
度和深度的相对标准偏差(RSD)分别为1．70％、2．29％和5．31％。
关键词：微流控器件；生物微机电系统；制作；电铸；模具
中图分类号：TN405 文章编号：1004—132X(2005)14～1306一04
MoldforMicrofiuidicDevices
FabricationofNickel byElectrofroming
HaoWeiweiZhou
ZhangFengYangFangzu Yongliang
Xiamen
University，Xiamen，361005
made onthe
nickelmoldwithsurface at was
Abstract：A roughness byelectroforming
0．725#m
andconvex
siliconmoldetchedwith1 corner
negative 5％(CH3)4NOH compensationtechnology．
of observedforthechannel
Lowrelativestandarddeviation(RSD)values1．70，2．29，and5．31％are
the forthebatchcastPDMS
bottomwidth，thewidth，and replica．
top depth，respectively
words：microfluidic
Key
0 引言 点是可以大批量制作，但比较昂贵且生物相容性
进入20世纪90年代以后，生物微机电系统有待改善。近年来以聚合物为材料的微模型复制
技术逐渐受到重视[2“]，即在模具上浇铸或热压
(Bio—MEMS)得到了飞速的发展L1j。Bio—
MEMS是应用于生物医学领域的微机电系统，其进行批量制作。因此，发展高品质模具的快捷制
主要特征在于“湿”，即处理的系统是溶液体系。 作方法已成为重要的课题。
微流控器件是BioMEMS的传感器与执行器，对 通常，微流控器件的模具是通过深度光刻或
外界溶液体系进行感知、分析及操纵，其加工与制 结合电铸技术制作的，如SU一8技术、LIGA技
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