导波法测量吸收薄膜的复介电系数和厚度.pdfVIP

第 20 卷　第 5 期 光　 学 　学 　报 V o l. 20, N o. 5 2000 年 5 月 A CTA O P T ICA S IN ICA M ay, 2000 导波法测量吸收薄膜的复介电系数和厚度 蒋　毅　曹庄琪　沈启舜　陈英礼 (上海交通大学应用物理系, 上海 200030) 摘　要　具有吸收特性的波导薄膜, 其衰减全反射(A TR ) 峰的位置和形状包含了薄膜诸多特征参 数的信息。在同时考虑棱镜的耦合和材料的吸收的基础上, 本文用一阶微扰理论推导了微扰传播 常数的解析公式, 并且介绍了通过分析薄膜的衰减全反射峰来计算吸收薄膜的复介电系数和厚度 的方法。 关键词　导波法, 　吸收薄膜, 　复介电系数, 　衰减全反射。 近年来对有吸收的薄膜的研究日益受到重视[ 1～ 5 ] 。薄膜的吸收特性主要通过其介电系数 的虚部来体现。若薄膜是金属材料, 则在光频范围内其介电系数的实部是负数, 其绝对值远 大于其虚部和周围介质的介电系数, 这时薄膜中将激发长程表面等离子波( ) [ 6 ] ; 若薄 L R SP P 膜是掺杂染料的有机聚合物, 因为染料分子对可见光有吸收, 其介电系数也是复数, 但实部 是正数, 且远大于其虚部, 这时薄膜中将激发导模(GM ) ; 若薄膜的介电系数的实部接近于 零, 而虚部较大, 这时薄膜中将激发长程表面激子波( ) [7 ] 。 L E SEP 本文采用导波法测量吸收薄膜的复介电系数和厚度, 用棱镜耦合法激发导模。对有棱镜 的四层泄漏波导结构, 已有许多专文论述[ 1～ 5 ] 。 等人基于光线理论, 利用光传播的方法计 L in [4 ] 算泄漏波导结构中的能量损耗 , 然而该方法无法提供传播常数的解析解。 等人应用 Gh atak 洛伦兹(L o ren tzian ) 曲线导出了传播常数的解析公式[ 1～ 3 ] , 但包含了两点近似: 一是缓冲层只 2 2 存在唯一一种指数衰减场, 这是无法理解的; 其次, 该方法应用近似 k n , 说明这种分析 0 1 [ 5 ] 只对低阶模有效。 等人采用长程表面波的方法来进行测量 。但这一方法需要满足 d Y an g 1 的薄膜近似。在通常情况下, 这一近似并不严格成立, 这无疑会影响最终测