一种聚合物平板微器件的集成制造方法.pdfVIP

一种聚合物平板微器件的集成制造方法 徐征H，王林刚1，栾庆营2，刘冲2，宋满仓2，吕治斌1 ：大连理I大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室，辽宁大连116085； 2大连理I大学精密与特种加I教育部重点实验室．辽宁大连116085 摘要 本文以一种平板微器件一微流控芯片制造为研究对象，针对单独的成形工艺难以同时保 证器件的宏微尺度误差的难题，提出了新颖的聚合物平板微器件的集成制造方法。首先， 设计并制造了一套注塑模具，其中采用双螺纹结构将微镶件和定模架相连，对注塑工艺参 数进行优化，制得填充率接近1的平板微器件。然后对平板微器件进行以基于视觉对准的 铣削整形、热压整平工序。最后，对器件进行装配和综合测试。实验结果表明：采用本文 方法制造的器件，各项精度指标和性能可以满足实际使用要求，工艺成果对同类器件的研 发生产提供了借鉴和指导。 关键词：注塑成型、微器件、合物微器件、接触对刀、成制造 An methodfor flat microparts Integratedmanufacturingpolymer Lvl Son92，Zhi—Bin Wan91，Qing—LeiLuan2，ChongLiu2，Mang—Cang ZhengXul‘，Ling．Gang 。The Micro／Nano and Province,Dalian KeyLaboratoryforTechnologySystemofLiaoning University 11 ofTechnology,Dalian6085,Liaoning,China； 2 andNon—traditional KeyLaboratoryfo，．PrecisionMachiningTechnologyofMinistryofEducation， Dalian 116085，Liaoning,China UniversityofTechnology,Dalian ABSTRACT afiat atthedifficult This studiedthefabricationof micropart．microfluidicchip，aimed paper themacroandmicroscaleerror thatindividual wasdifficulttoensure problem formingprocess anew methodfor flat ofthemicro polymer integratedmanufacturing partmeanwhile，presented