橫河电机Yokogawa台式微量氧氧气分析仪OX400.docVIP

橫河电机Yokogawa台式微量氧氧气分析仪OX400 OX400可用于控制和监视各种半导体应用，并控制环境，空气泄漏入惰性气体及其他过程。 用于半导体扩散炉和烘干炉，以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度，以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量测量氧气浓度，防止粉尘运输中粉尘爆炸 ? 主要技术参数： 测量对象 惰性气体中的氧气浓度(易燃性气体、腐蚀性气体或液体(包括水蒸气)除外) 测量系统 氧化锆系统 采样方法 泵式抽提式等 样气条件 流速200±25ml/min(仅用于传感器)温度0～50(无结露)湿度无结露压力0～300PaG最大容许压力30kPaG 测量量程 0～10ppm?O2至0～100vol%?O2 输出量程 自动 0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，0～100%(默认) 固定 设为0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，或0～100% 部分 可设置下限值或上限值 模拟输出 2路输出，一4～20mA?DC(最大负载电阻550Ω)二可选为0～1，0～5，0～10V?DC(负载电阻10kΩ或更大) 接点输出 报警输出2点 错误接点，O2浓度报警接点 指定量程范围输出1点 接点输出 多选择器(选配件) 流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出 接点输入 1点采样气体吸入泵的远程ON/OFF 自诊断 故障 传感器错误，加热器温度错误，温度传感器断开，设备温度错误，CPU错误，FAN停止 报警 加热器不稳定，传感器错误，电动势异常，非对称电压错误错误，标定错误，传感器电阻错误，O2浓度上/下限，超限 串口通信 RS-232，38400?bps 标定方法 (1)3点10ppm，1000ppm，空气，(2)2点可设定为零点气和量程气标定，(3)1点，(4)空气标定 暖机时间 20分以内 电源 100～120V?AC/220～240V?AC，50/60Hz 功耗 100～120V?AC，200VA?最大，220～240V?AC，400?VA?最大 尺寸 213?(W)?x?132?(H)?x?约375?(D)?mm 质量 约5kg 管线连接 气体入口Rc1/4或1/4NPT内螺纹气体出口Rc1/4或1/4NPT内螺纹 环境条件 安装条件 室内，盘装或壁装，非易燃区域 环境温度 0～40，无结露 环境湿度 5～85%RH 储存温度 -5～50 重复性 1%F.S.(10，100，1000?ppm，1%，10%或100%) 线性 2%F.S.±3%F.S.(0～100ppm或更低) 响应时间 90%响应10秒内(0～1%或更高)30秒内(小于0～1%) 漂移 2%F.S./周 产品咨询采购联系人：仝西战 电话E-mail163.com