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气体放电.doc
2.4大气压下辉光放电(APGDs)
上文提到,辉光放电可以放生在很长的气压范围内。典型的气压范围约为100Pa,在更高的气压(甚至大气压)下,辉光放电也会发生,但是比较容易导致气体或者电极过热或产生电弧。根据经典论的相似性,如果保持乘积pd为常数,当d减小时就可以增大气压p。因此,小型化的放电设备就能在大气压下(甚至更高气压)产生辉光放电。在Schoenbach 等、Stark以及Schoenbach的著作中,提出了大气压下空心阴极微小放电现象。空心阴极大的直径大约100-200μm。在Czerfalvi等和Mezei等的著作中,用电解质做阴极实现了在大气中大气压下小的放电。在Eijkel等的著作中,提出了大气压下在一个微芯片中氦分子发射探测器气相色谱法Sturgeon和其同事的分析应用著作中,大气压下电容耦合射频放电而氧和氩气容易引起辉光放电丝状过渡等离子体聚合APGD的示意图。辉光放电产生于两平行板电极间,极板表面覆盖了电介质(例如氧化铝橡胶纺织品和生物材料提高用于油漆和胶水聚合物的润湿性(DBDs)
与APGDs密切相关的是介质阻挡放电(DBDs),以前也称之为“静放电”。它们也是大约在大气压下操作的(典型值为0.1-1atm)。放电所加电压的幅值为1-100kV,电压频率为几赫兹到几兆赫兹,同时电极间加了介质(例如玻璃、石英,陶瓷材料或聚合物
图6
两种基本的DBDs配置需要加以区分。体积放电(VD)包括两个平行板(见图6a)。放电发生在极板间窄道中,并随机的分布于电极表面。一个周期内的微放电数目正比于所加电压的幅值。表面放电(SD)包括一些介质层上的表面电极和其反面的电极(见图6b)。没有一个明确定义的放电间隙。这种情况下,所谓的微放电是发生在介质表面的一层薄薄薄的单独放电现象,可以称之为特定距离上的均匀放电。电压的增加使得介质表面的放电扩大了。也存在着两种结构的结合体,例如共面安排,应用在等离子体显示屏或者是固定床反应器Siemens在从氧气或空气中生产臭氧时已经应用了这种放电。现在,这种静放电臭氧发生器是一种有效的工具,在世界范围内很多的臭氧设备被用作水处理。另外一些应用是,二氧化碳生成器、在紫外和真空紫外准分子辐射作为惰性气体空气/气体混合物的氯原子吸收光谱法半导体激光微等离子体CCl2F2,CClF3和CHClF2
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