气体放电教程.doc

目录 目录 1 引言 4 §0.1. 应用前景 4 §0.2. 常用的放电电极及电场强度分布 4 §0.3. 气体粒子的不同能态及相应能量 6 第一章 放电气体中粒子碰撞 9 §1.1. 气体碰撞的物理概念及放电气体中粒子的碰撞特性 9 一、 弹性碰撞与非弹性碰撞的能量转移 9 二、 放电气体中中性原子或分子的激发和电离 11 三、 碰撞截面 13 §1.2 电子与重粒子的碰撞及相应的碰撞截面 15 一、 电子与原子的弹性碰撞截面 15 二、 电子碰撞电离截面 16 三、 电子碰撞激发截面 17 四、 电子与分子气体的碰撞激发及离解 18 五、 带电粒子的碰撞电离过程比较 18 六、 第二类非弹性碰撞 19 七、 其它电离形式 20 本章小结 23 第二章、放电电极的表面电子发射 24 一、热阴极发射 24 二、阴极的光致电子发射 25 第三章、带电粒子在放电气体中运动 27 §3.1 带电粒子在气体中的热运动 27 一、 带电粒子的平均动能及相关关系 27 二、 带电粒子的平均自由程及其分布规律 28 §3.2 带电粒子在放电气体中的定向迁移运动 29 一、放电气体中带电粒子在定向电场作用下的运动特征 29 二、离子迁移率的理论处理 29 三、电子迁移理论 32 四、带电粒子迁移率的实验测量 33 §3.3 带电粒子在放电气体中的扩散运动 34 一、带电粒子在气体中的扩散 34 二、扩散系数与迁移率的关系 36 三、带电粒子的双极扩散 37 第四章、带电粒子的转化与衰减过程 41 一、负离子的形成 41 二、带电粒子的电荷转移过程 42 三、带电粒子的消失 43 本章小结 47 第五章、汤生放电理论与气体的击穿 49 §5.1. 直流气体放电的伏-安特性及被激导电 49 一、气体放电的伏-安特性 49 二、决定气体放电形式的条件 50 三、非自持放电的被激导电 51 §5.2 汤生放电理论 52 一、非自持放电的汤生理论 52 二、第一汤生电离系数 55 三、第二汤生电离系数 58 §5.3 气体击穿及巴邢定律 60 一、气体击穿---非自持放电到自持放电的过渡 60 二、巴邢定律 60 三、影响着火电压Ub的因素 61 §5.4 自持放电的理论分析 62 一、 汤生放电理论的自持放电条件 62 二、罗果夫斯基的空间电荷理论 64 §5.5 气体放电的着火时间 66 §5.6 气体放电的相似定律 67 一、相似定律的概念 67 二、相似定律的具体内容 67 本章小结： 71 第六章、辉光放电（Glow discharge） 73 §6.1 辉光放电的产生及典型条件 73 §6.2 辉光放电的组成区域和基本特征 74 一、辉光放电的外貌、参数分布及定性分析 74 二、辉光放电的基本特征 76 §6.3 辉光放电的阴极位降区 76 一、 阴极位降区的实验规律 76 二、 阴极位降与阴极电流密度关系的理论推导 77 三、 正常辉光放电和反常辉光放电的分析 80 §6.4. 辉光放电的正柱区 82 一、正柱区的特性 82 二、带电粒子的径向分布 82 三、正柱区的电子温度 84 四、放电管正柱区内Te随E/P值的变化 86 五、放电管正柱区的径向电位分布 86 §6.5. 正柱区的辉纹及带电粒子产生的不稳定性 88 一、 辉纹放电的定性解释 88 二、符拉索夫的多粒子理论解释 89 §6.6 空心阴极放电 89 一、空心阴极原理性实验装置和放电特性 89 二、 典型的空心阴极放电结构 90 三、 正常空心阴极放电的主要特征及条件 91 §6.7 . 阴极溅射 92 一、阴极溅射的规律 92 二、阴极溅射的机理 92 本章小结： 93 第七章、弧光放电 94 §7.1 弧光放电的特征与分类 94 一、 弧光放电的几种起弧方法 94 二、 弧光放电的一般特征（与辉光放电相比） 95 三、 弧光放电的分类 95 §7.2 弧光放电的阴极发射机理 95 一、自持热阴极发射 96 二、自持冷阴极发射（，而辉光放电） 97 三、非自持热阴极弧光放电 97 四、 等离子体区（正柱区）的电子温度 98 §7.3 弧光放电等离子体区的物理特性 99 一、弧光放电等离子体的一般性质 99 二、弧光放电等离子体区的能量平衡 100 §7.4弧光放电的阳极位降区 101 §7.5 弧光放电的伏—安特性 101 §7.6 高气压、高功率密度放电的稳定性 102 一、等离子体颈缩（辉光崩溃）现象 102 二、等离子体颈缩的热不稳定性解释 102 三、防止出现局部等离子体颈缩的措施 103 本章小结： 103 第八章、其他形式的气体放电 104 §8.1 高频气体放电 104 一、电子在高频场中的运动 105 二、高频气体放电的着火点压 105 三、高频放电的网