溶胶_凝胶提拉法制备ZnO薄膜及其性能研究.pdfVIP

第22 卷 　第 1期 材 　料 　科 　学 　与 　工 　程 　学 　报 总第8 7 期 Vol 2 2 　No 1 Journal of Materials Science Engineering Feb . 2 0 0 4 文章编号 :1004793X( 2004) 溶胶凝胶提拉法制备 ZnO 薄膜及其性能研究 宋永梁 ,季振国 ,王泉香 , 向　因 ,叶志镇 ( 浙江大学硅材料国家重点实验室 ,浙江 杭州 　310027) 　　【摘 　要】　采用溶胶凝胶提拉法在石英玻璃衬底上生长了 ZnO 薄膜 。对薄膜的 XRD 分析表明 ZnO 薄膜为 纤锌矿结构并沿 c 轴择优取向生长 。透射光谱表明薄膜的禁带宽度为 328eV ,与 ZnO 体材料的禁带宽度 330eV 基本相同。用荧光光谱分析了经过 400～600 ℃热处理获得的 ZnO