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硅光电探测器.pdf
硅 光 电 探 测 器
杨 成珠 李庆 文
,
,
摘要 本 文 以 典 型 器 件 为例 较 详细 地介 绍 了引一 光 电二 极 管和 雪崩 光 电二 极 管 讨 论
、
了器 件理 论和 器 件 结 构 制 作工 艺等一 些 实 际 问题 。 介 绍 了典 型 器 件参数 。
、
一 引 言
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光 电探测器是变 光信号为 电信号 的元件 一一比已︸ 洲子︸︸
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一般要满足 以下要求 一
①在 系统工作 的波长 区有高 的量 子 效率
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最小可探测度满足 系统对信一 噪 比的要求
跟 上 调 , 即 电
②能 得 入射光信号 的 制速度 响
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