大量程光纤测距技术地研究.pdfVIP

大量程光纤测距技术的研究! 钟 明 叶声华 段发阶 杨 蓓 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津 #$$$%’ 摘要 研究了一种基于光纤准白光干涉技术的大量程绝对测距系统 该系统利用 的短扫描导轨 可以实现 以上的测量 ( $$ * +$ )) ) 范围 测量精度为 重复性优于 -. 系统首次引入光开关器件用于量程倍增 论述了系统的基本原理和量程倍增系统 并给出 * + * +$ ( ( * ,) 了相应的实验结论( 关键词 光纤干涉仪 量程倍增 距离测量 /0102345016782390/2790:;12740=02130?071@ABC;42DE;@30 F703G036?03A HIJKL MNKL OPQIPKLIRS TRSKUSVNP OSKL WPN ‘ * ‘ uvvvwx* ’ XYZY[\[]^Z_ abcd[efgfahi[Zgjdfhkl[emhanak]o phgYdjq[hYg lfZhrfhshft lfZhrfh ymfhZ * z@1324 {IN|}S}P~}~P|PK!|SS~LP~SKLP S#|JR!P$N|!SK%P)PS|R~NKL||!P) JK #S|PJ’J}!N%S’N#P~ ‘ +$ ( $$ ’‘ NK!P~’P~PK%P {IN|||!P) %SK’R’N)J~P!ISK ) ~SKLP)PS|R~P)PK!R|NKL|IJ~!|%SKKNKLLRN$P )) -. + +$ ‘ ( {IP)PS|R~P)PK!S%%R~S%N| ,) SK$!IP~P}P!N!NJKS%%R~S%N|#P!!P~!ISK {IN|||!P) S$J}!’N#~P ‘ |)N!%I!J)R!N}!IP)PS|R~NKL~SKLP’N~|! {IN|}S}P~NR|!~S!P|!IP#S|N%}~NK%N}P|SK$!IP)PS|R~NKL ‘ )R!N}NKL||!P) SK$S!S|!LN*P|!IP%J~~P|}JK$NKLP+}P~N)PK!S~P|R!| ,0A-63.1 /}!N%S’N#~PNK!P~’P~J)P!P~| MPS|R~NKL~SKLP)R!N}N%S!NJK TN|!SK%P)PS|R~P)PK! 引 言 和激光扫描干涉仪 光纤准白光干涉仪主要完成目标 2 ( 的定位瞄准 光源采用 半导体激光器 为缩