真空电弧离子镀沉积Ni基合金涂层地研究.pdfVIP

真 空 科 学 与 技 术 第22卷 增刊 76 VACUUMSCIENCEANDTECHNOLOGY(CHINA) 2002 真空电弧离子镀沉积Ni基合金涂层的研究 张海军 熊河根 江〔西省机械科学研究所 江西 南昌 330002) StudyOfNi-baseAlloyFilmbyVacuumArcIonPlating ZhangHaijun,XiongHegen (JiangxiResearchInstituteOfmechanics.Jiangri,Naach,ng,330002China) AbstractNi-basealloyfilmisstudied,thisffutmajorlyisappliedininternalcombustionutrbineandairplaneblade,Inorderto improvethesutdyofthekindofcomplexNibasealloyfilm,thenormalprocedureandpropertyofNiCrWTialloyfilm isstudiedin thispaper,theresultsshowthatcompactmicrostructure,highcohesiveforceandgoodcorrosionresistancefilmareformedbyvacuum arctonplating Keywords CoCrAlY,NiCrAlYheatbarrierbondingfilm,Vacuumarcionplating,NiCrWTialloyfilm 摘 要 Ni基合金涂层是我国近几年着力研究并应用于燃气轮机，飞机叶片的新型合金涂层，为扩大对Ni基合金涂层 品种多元化的研究，本文研究了NiCrWTi合金涂层的常规工艺及其性能，结果表明:采用真空电弧离子镀技术沉积NiCrWTi 合金涂层的组织结构致密，结合强度高，耐腐蚀性能好。 关键词CoCrAl卿iCrAlY热障粘结涂号真空电弧离子镀 NiCrWTi合金涂层 中图分类号 ;TR43 文茸标识码 :A 文童编号:0253 9748(2002)增一076一04 Ni基合金涂层是我国近几年在燃气轮机，飞机 1.1 实验条件及方法 叶片上着力研究的新型合金涂层，尤其是我国航空 采用俄罗斯BY-131真空电弧离子镀膜机沉积 工业部门经过不懈努力，采用真空电弧离子镀技术 NiCrWTi多元合金涂层，NiCrWTi合金靶材理论设 沉积NiCrAlY热障粘结涂层应用于燃气轮机叶片 计的化学成份为:w (Cr)=31.74%,w (W)= 取得了可喜成果。但真空电弧离子镀沉积多元合金 6.5%、w (Ti)=4.5%、、(Ni)=57.26X,，并真空 涂层技术工业化应用与生产实践证明，NiCrAlY热 熔炼制成合金，再加工成所需靶材形状。在沉积温 障粘结涂层只是众多多元合金涂层中的一员， 度500℃一60OU，真空度2Pa-1x10-Pa，试样距 NiCrAlY热障粘结徐层之外的多元合金涂层创新研 阴极蒸发源距离约250mm,20r/min速度顺时针旋 究更是41心。值得提出的问题是真空电弧离子镀研 转，基体负偏压。一1500V，电弧电流70A-150A条 究现状，俄罗斯早于1988年成熟地运用真空电弧离 件下，在GX-8,Wt8Cr4V基材上沉积NiCrWTi合金 子镀技术沉积CbCrAlY,CoCrAlNiY,NiCrWTi,Zry 涂层，涂层厚度0.025mm-0.04mm，见图1,图30 等合金涂层，据称在飞机发动机和汽轮机叶片上沉 积30微米至 100微米多元合金涂层已使用多年。 而国内较为专注NiCrAIY热障粘结涂层的研究，对 NiCrAlY之外的多元合金涂层研究应用工作仍较为 零碎。真空电弧离子镀覆NiCrWTi多元合金涂层 是一项尝试性研究工作。本文简要介绍真空电弧离 图 l 真空电弧离子镀沉积NiCrW