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磷扩散 太阳电池制造的核心工序 PN结——太阳电池的心脏 扩散的目的：形成PN结 PN结的制造 制造一个PN结并不是把两块不同类型（p型和n型）的半导体接触在一起就能形成的。 必须使一块完整的半导体晶体的一部分是P型区域，另一部分是N型区域。 也就是在晶体内部实现P型和N型半导体的接触 。 扩散装置示意图 影响扩散的因素 管内气体中杂质源的浓度 扩散温度 扩散时间 太阳电池磷扩散方法 １．三氯氧磷（POCl3）液态源扩散 ２．喷涂磷酸水溶液后链式扩散 ３．丝网印刷磷浆料后链式扩散 本公司目前采用的是第一种方法。 POCl3 简介 POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源 无色透明液体，具有刺激性气味。如果纯度不高则呈红黄色。 比重为1.67，熔点2℃，沸点107℃，在潮湿空气中发烟。 POCl3很容易发生水解，POCl3极易挥发。 POCl3 简介 遇水蒸汽分解成磷酸和氯化氢，可致磷中毒，对皮肤、粘膜有刺激作用，短期内吸入大量蒸汽，可引起上呼吸道刺激症状、咽喉炎、支气管炎；严重者可发生喉头水肿窒息、肺炎、肺水肿、心力衰竭等危害。 接触皮肤应立即脱去被污染的衣服，要先用纸、棉花等将液体吸去，然后用大量流动的清水冲洗至少15分钟，就医 。 POCl3 简介 接触眼睛因立即用大量的流动的清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟，就医。 泄漏时因立即撤离污染人员至安全区，建议应急处理