纳米金刚石涂层上化学气相沉积金刚石薄膜的SEM的研究.pdfVIP

第8卷增刊 金属功能材料 Vd 8 SupP 2001年3月 M出JlicFv．etiotmlMm邮出 March2001 纳米金刚石涂层上化学气相沉积金刚石薄膜的SEI研究 邵乐喜‘刘小平1谢二庆2贺德衍2徐康3陈光华4 (1湛江师范学院物理系广东湛江524048；2兰州大学物理科学与技术学院兰州730000； 3中国科学院兰州化学物理研究所兰州73∞00；4北京工业大学材料科学与工程学院北京1000笠) 摘要在微波等离子体化学气相沉积(MwP．cVD)系统中进行金剐石薄膜的生长之前，对光滑硅 衬底分别迸行了超微纳米金剐石粉的涂覆预处理和数十微米金刚石细屑的研磨处理，运用扫描电 子显微镜(sEM)研究了生长在涂敷衬底和研磨衬底上的金刚石薄膜的成核、生长行为及其结构特 征。结果表明，纳米粉预处理能在显著提高成核密度的同时，大大缩短长成连续膜所需时间；薄膜 的生长过程由前后相继的两个阶段所构成，即确定晶面形成前球状颗粒的成长与融台阶段和晶面 的逐渐显露与晶粒长大阶段。经足够长的生长时问后，所得薄膜具有结构致密、晶面清晰、晶形完 整和表面平整度高的特征。而研磨处理村底上的薄膜一旦戚核，便有确定晶面的显露，但却出现 明显的二次成核和孪晶，所得薄膜的致密性与表面平整度均不及涂覆处理的好。研究指出，炸药 爆轰制备的纳米金刚石粉对村底的预处理，不仅简单有效而且经济实用，尤其适合于高致密性自 支持盒刚石薄膜的生长。 ，， 美t词纳米金日Ⅱ石粉(c1吣金刚石薄膜生长行为 中圈分类号曰Ⅸ融十|噜托惭?l 文献标识码A L l引曹 长的金刚石薄膜的结构特性则少有研究。而 化学气相沉积(cvD)金刚石薄膜一般在这恰恰是实现它们在工业顿_域实际应用所需 未经处理的村底上难于成核并生长，而过低 要迫切解决的问题。本文研究经这种纳米粉 的成核密度也往往会形成表面粗糙度高、晶 促进的金刚石薄膜的成核和生长行为及其演 粒大甚至岛状结构的薄膜，这种薄膜如果不 化过程，以了解该薄膜的生长机理和结构特 经复杂的抛光后处理，很难直接应用到如电 点，为它们的工业实用化提供实验基础与指 子学与光学窗口等方面对表面平整度要求高 导依据。 的场合，致使金刚石的许多独特优异性能很 2实验 难得到充分发挥，从而限制了其在众多方面 研究用纳米金刚石粉由普通炸药爆轰法 的应用。用超硬材料颗粒对村底的机械研磨 合成，因制备过程中被许多非金刚石成份所 处理，或对村底加偏压的处理等方法虽然都 污染，使用前进行了如下处理：盐酸对金属， 能有效增强成核，但或因划痕难于控制、或因 铬酸对未饱和碳氢集团，王水对残留金属以 工艺复杂和造价昂贵，而不易实现工业的实 及氢氟酸对硅化物的去除提纯处理，得到超 用化。已有研究表明LI刊，用超微金刚石粉 微细金刚石粉。图I所示为其高分辨率透射 对衬底进行涂覆处理，不仅能显著增强金刚 电镜(}mEM)像，可见颗粒线度为3—6IInI。 石薄膜的成核，还可方便地控制成核。是一种 将此粉按5cal／L、且有0．2％HF的含量混于 简便有效的衬底预处理方法。然而，多数报 67％的乙醇与水的混合液得到载粉憎水液， x 道仅着眼于对成核密度的观察，对用该法生 以2．0 1039的加速度离心lh，使细粉团粒 增刊 邵乐喜等：纳米金刚石埭层上化学气相沉积金刖石薄膜的s珊研究 散开并悬浮于混合液