提高集成电路组件外观检测速度的算法研究.pdfVIP

计 算 机 技 术 与 发 展 vd 第2O卷． 第5期 ． 20 No．5 2010年 5月 COMPUTERTECHNOLOGYANDDEVELOPMENT May 2O1O 提高集成 电路组件外观检测速度的算法研究 赵新宇，卢 强，黄士坦 (西安微 电子技术研究所 ，陕西 西安 710054) 摘 要：集成电路芯片外观检测中，图像处理算法的精度和速度严重制约了检测质量及效率的提升。鉴于此，文中提出了 两种快速检测芯片外观参数的算法——直线拟合算法和主轴算法。上述两种算法根据待检测管脚参数 的特点，在选取 ROI区域的基础上 ，只针对所选 区域的图像进行相关预处理，从而进一步提高速度。直线拟合算法从待测管脚的边缘点 着手进行处理，而主轴算法则关注于管脚的一二阶矩 ，并根据主轴公式得 出所求参数 。最后从速度和精度方面对此两种 算法的特点进行了对比分析并给出了两种算法的实验结果。 关键词 ：芯片检测；直线拟合；主轴；ROI；亚像素 中图分类号：TP301．6 文献标识码：A 文章编号：1673—629x(20lO)05—0o7l—o4 ResearchofArithmeticonImprovingRapidityin Inspecting IntegrateCircuitM oduleAspect ZHAOXin-yu，LU Qiang，HUANGShi—tan (Xi’anMicroelectronicsTechnologyInstitute，Xi’na 710054，China) Abstract：Ininspectingthechipaspectofintegratecircuit，therateandprecisionofimageprocessionbadlyrestrictthe8~ snceinbothni- spectivequalityandefficiency．Inviewofthat．givetwomethodsinhstimpeetingthechipparameters——arithn1eticofIinefittingand principalaxis． etwomethodswhichareabove—mentionedcanonlydealwiththeROI(regionofinterest)orlthebasisofthepmmneter characteristicstobetest，whichcanfurtherimprovethespeed．Arithmeticoflinefittingpaysattentiontothe edgepoint，whilepliIlcipal axisfocusesonthefirst—ordermomentandsecond—ordre moment，thengetsthe parametersaccordingtothe axisformula．Ineonclu． sion，theanalysisonthetwometh3dsinqualityandefficiencyandtheresultsofthetwomethodsreexpressed． Keywords：chipdetection；linefitting；principalaxis；ROI；sub—pixel O 引 言 配，基于特征点提取和规则检查的方法等[1--3】。上述 随着集成电路产业的发展，其外观检测的要求越 几种算法检测精度基本可以满足要求 ，但是算法运算 来越高 ，传统的检测方法效率低 ，误差大，已不能适应 量大，在检测速度方面很难提高。 目前的工艺要求。机器视觉代替人工检测已