一种微型喷地研究.pdfVIP

S1℃’99 r海青时雄英唐飞周兆英 ’ 清华大学微米，纳米技术研究中心，北京，100084 Email：yexy@nd．pim．乜趣噩medLL∞ 摘要：微型喷是微型机电系统的一种重要拙行器。它的主要应用方向为喷墨打印头、微 膏 供给，芯片冷却以及气i《控制等。近月年来，随着航天领域敝型化技术的发展，用于微型推 进系统的微型喷的研究越来越受到重视本文所研究了用于微型推进系统的横型喷，该微型 喷采用以水为工质的电阻电热工作方式，利用硅微加工工艺制作。 一．引言 微型喷是娅惦的一种典型器件，在她摄{元域占有颇为重要的一席之地。它的应用涉 及生物医疗、科学仪器、工业控制等多个领域，目前几种主要的应用方向为：喷墨打印、药 品的微量供给、芯片冷却、气渚滥制以及微型推进系统。 微