单晶硅纳米薄膜面向导热MD的研究的探讨.pdfVIP

中国I：程热物理学会 传热传质学 2003学术会议论文 编号：033204 单晶硅纳米薄膜面向导热MD研究的探讨 肖鹏，李志信 清华大学工程力学系，北京，100084 摘要：分析r经典分予动力学技术托模拟单晶硅纳米薄膜平行于薄膜平面方向的面向热导率时出现的 田难，并在此摹础上提出采用基于分了动力学(Molecular Dynamics)和预处理共轭梯度法 (Preconditioned conjugateGradients)的Car-Pardnello方案模拟面向热导率。 Initio 关键词：热导率，单品硅薄膜，分子动力学，Ab 1 引言 厚度在1～lOOnm量级的单晶硅薄膜导热特性研究的动力己逐渐由理论兴趣演变为 切实的技术需求。采用计算机数值模拟技术，根据经典动力学理论或者量子力学理论直 接模拟计算薄膜