金刚石膜力学性能分布的研究.pdfVIP

金刚石膜力学性能分布研究 刘尔凯侯立玄真武魏丽娟周兵韩毅松蒋正’ (北京天地东方盒剐石技术有限公司jE京100018；北京科技大学] 摘 要 尘刚石膜具有优异的物理化学：和机械性能，已经在缸外窗口，散热基板、各种刀县、 耐磨部件等方面获得应用．空刖石腱的断裂强度、耐磨性是实际应用中空刚石膜质量的重要判断指 标．奉文介绍了以三点弯曲法和空刚石膜刀吴切削铝材实验对空刚石膜的断裂强度和耐磨性的研 究．发现金刚石膜不同部位其断裂强度和耐磨·|生鲁有明显兰删，例如：膜片中央趵25ram直径内断 裂强度为613 旋转，但因为不同基体部位和水冷套接触不同，温度也就不吼膜片的断裂强度显示出非轴对称的 MPa和539MPa。对膜片成棱面和生长面加压 干扰，在直径的两端新裂强度可以有很太差异：794 时断裂强度的差异进行了讨论．耐磨性也表现出迫郝和中部的差异。所以，在对投八生产的膜片检 验取样方面，但在一十位王取样代表照片整十膜片质量情况是很粗柱的。 关键词 奎嘲石膜断裂强度耐磨性