采用MOD工艺制备PZT压电薄膜与其性能的研究.pdfVIP

STC’99 采用MOD工艺制备PZT压 电薄膜及其性能的研究 张之圣陈智勇王聪修 天津走学电子信息工程学院天津300072) 擅要：本文比较详细地研究了采用金属有机化合物热分解(MOD)法制各锆钛酸铂Pb (Zro 程，翩得具有钙钛矿结构的PZT薄膜+铂电极有利于钙钛矿相形成。薄膜的介电温谱研究 结果表明：薄膜的居里温度约为430℃(IKHZ)。 ．E；囊翟蠖：。：。， 关键词：金属有机化台物，错钛酸铅，铁电薄膜 一、引言 薄膜上艺的发展为制作高质量的铁电薄膜建立了技术基础，而优质的铁电薄膜将推动和 技展铁电材料的多功能效应，并开拓新的应用领域。目前铁电薄膜的应用主要有电学应用和 光学应用两个方面。在电学方面的应用主要包括：随机存储器、声表面波滤波器、铁电薄骥 场效戍晶体管，机敏传感器，热释电红外探测成象器等：在光学方面的应用主要包括：光快 门、光波导调制器、光显示和光存储、电光调制器等。