放电等离子烧结技术制备复合梯度靶材地研究.pdfVIP

放电等离子烧结技术制备 复合梯度靶材的研究 刘卫强岳明张东涛刘燕琴张久兴 (北京工业大学新型功能材料教育部重点实验室，北京，100022) 摘要：采用放电等离子烧结技术制备了TbFeCo／Ti和Bi20，／Cu复合梯度靶材，利用扫描电子显 微镜和匏谱分析仪对材料的微现组织形貌厦成分进行了分析。结果表明，合成的复合梯度靶材具 有宏观组织不均匀性和微观组织的连续性的特征，显微组织中不存在微裂纹，消除了热应力的影 响。与单一靶材相比．复合梯度靶材的强度和韧性更好，而且解决了在溅射过程中的散热问题， 提高了成品率和使用率。 关键词：复合靶；SPS 靶材是一种具有高附加价值的特种电子材料，主要使用在微电子、显示器、存储器以及 光学镀膜等产业上，用以溅射用于尖端技术的各种薄膜材料”o。溅射是制备薄膜材料的主要 技术之一。由于靶材对溅射膜的质量有着重要的影响，因此，对靶材的要求也更加严格。溅 射靶材要求纯度高，杂质含量少，密实度高，成分和结构均匀等。但对于实用化靶材而言， 以上只是其达到实用化目的的先决条件。事实上，靶材在使用过程中还存在一些其他问题。 在磁控溅射过程中，当高能态离子高速轰击靶材表面