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- | 2011-01-14 颁布
- | 2011-05-01 实施
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ICS13.040.35
C70
中华人 民共和 国国家标准
/ — / :
GBT25915.1 2010ISO14644-11999
洁净室及相关受控环境
:
第 部分 空气洁净度等级
1
—
Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments
:
Part1Classificationofaircleanliness
( : , )
ISO14644-11999IDT
2011-01-14发布 2011-05-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发 布
中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会
/ — / :
GBT25915.1 2010ISO14644-11999
目 次
前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ
引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅳ
1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1
2 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1
3 等级 ……………………………………………………………………………………………………… 3
4 等级的证实 ……………………………………………………………………………………………… 4
( )
附录 资料性附录 洁净度等级表 的图示 …………………………………………………………
A 1 6
( )
附录 规范性附录 采用光散射离散粒子计数器测定粒子洁净度等级 ……………………………
B 7
( )
附录 规范性附录 粒子浓度数据的统计处理 ………………………………………………………
C 10
( )
附录 资料性附录 分级计算实例 ……………………………………………………………………
D 12
( )
附录 资料性附录 超出分级粒径阈值范围的粒子计径和计数 ……………………………………
E
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