同步移相干涉仪中二维位相光栅衍射效率的研究.pdfVIP

光学仪器与技术 同步移相干涉仪中二维位相光栅衍射效率研究 李金鹏，陈 磊 南京理工大学 电子工程与光电技术学院， 南京 210094 摘要：为了提高基于光栅分光的同步移相干涉仪中光能量的利用率，采用二维位相型光栅作为分光元件。 在确定光栅参数之后，对存在不同刻蚀误差的二维位相光栅进行了仿真研究，得到二维位相光栅衍射效 率分布图。结果显示，即使光栅存在刻蚀误差，(+1,+1)，(+1,-1)，(-1,+1)，(-1,-1)四个级次上的衍 射效率相等，且大于 16%。因此，证明了使用二维位相光栅提高光能量利用率的有效性。 关键词：光学测量;同步移相;二维位相光栅;衍射效率 学科分类：0803 Research on diffraction efficiency of two-dimension phase grating in simultaneous phase-shifting interferometer Kingpeng lee ,Lei chen (Institute of Electronic Engineering and Photoelectric Technology, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing 210094, China) Abstract ：In order to increase the energy efficiency in a simultaneous phase-shifting interferometer based on the grating, a two-dimension phase grating is used as the beam splitter. The parameters of the grating are designed, and the simulations are executed to analyze the effects of the grating etching error. The results indicates that the diffraction efficiencies of (±1, ±1) orders are still equivalent approximately with the values larger than 16%.Therefore, the ability of phase grating to increase the energy efficiency in the simultaneous phase-shifting interferometer is validated. Keywords ：Optical testing; simultaneous phase shifting; two-dimension phase grating; diffraction efficiency 1 引言 同步移相干涉术[1,2,3]是一种基于空域移相的干涉术。与传统移相干涉术相比，它最显著的优势是， 在同一时刻不同空间位置采集具有特定步长的一组干涉图，达到消除时域移相中振动对干涉测量影响的 目的。同步移相干涉术通过分光元件将干涉仪的参考光和测试光分为多路，并使用偏振器件在每一路相 干光中引入不同的移相量以实现空间移相；而光栅作为一种重要的精密分光元件，在同步移相干涉术中 [4] [5] 有着重要的应用。德国Hettwer 利用一维光栅分光，同时得到三幅移相干涉图；钱克矛 实现了在马 赫曾德尔结构二维位相光栅分光的同步移相系统，左芬等也[6]提出基