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压电陶瓷微位移驱动加工精密异形回转曲面技术的研究 许黎明胡德金 邓琦林 赵晓明 (上海交通大学机械制造与自动化研究所 上海 200030) 摘 要 精密异形曲面的加工是精密加工中很重要的内容，微位移驱动技术是其中的关键技术。目前，微位移驱动 元件种类很多，从控制精度和可操作性分析，压电陶瓷驱动有其独特的优点，但它的输出位移小，而且对于 定的 驱动电源,输出幅度与输出频率负相关，这在很大程度上制约了它在高频响较大幅度位移输出场合的应用。为此本 文首先对压电陶瓷的静、动态驱动特性进行了分析、并就特定PZT(PiezoelectricTranslator)进行了实验，在此基础 「 说明了该类微位移驱动有效的加工范围和改善其输出特性的措施。并提出了一种在较高频率下输出较大位移的方法， 通过对系统进行数学建模进行了分析讨论，指出了其应用前景。 关钮词 It电陶瓷 微位移驱动 异形曲面精密加工 就特定的PZT进行了实验，在此基础上说明该类微 I 前言 位移驱动有效的加工范围和改善其输出特性的措 施，并探讨了较高频率下输出较大位移的方法，并 精密异形曲面的加工是精密加工中很重要的内 通过对系统进行数学建模进行了分析讨论，最后以 容，这里异形曲面主要指异形回转面和异形孔。在 活塞中凸变椭圆加工和活塞非正圆异形销孔的加工 很多应用场合，如轿车活塞中凸变椭圆型面的加工、 为例指出了其应用前景。 轿车活塞Ik正圆异形销孔的加工领域，异形曲面的 加T技术成为关键之所在川。由于这类异形曲面的异 2 PZT驱动的动、静态特性及其实验 形程度很小，一般圆度的变化在几十纳米至几百微 研究 米之间，故称之为精密异形曲面，采用常规的加工 目前，国内PZT的生产和研制主要还集中在科 手段难以加工，成为机械切削加工中的一大难题。 研院所，尚未形成一定的规模。本节拟就德国PI公 微位移执行器及其驱动技术为解决这一问题提 司的PZT产品为代表对其驱动特性进行分析，并通 供了契机。微位移执行器是精密驱动系统的末端执 过实验得出PZT驱动目前有效的加工范围和改善其 行环节，由驱动元件 (致动器)和微位移传递机构 输出特性的措施。 二部分组成。口前，微位移驱动元件种类很多，如 机电驱动类、电磁驱动类、压电/电致伸缩驱动类、 2.1PZT驱动的动、.态特性分析 磁致伸缩驱动类等J21。从控制精度和可操作性分析， 目前使用的PZT材料基本上是由含有错酸盐、 铅和钦酸盐的陶瓷材料组成，根据制作工艺的不同， 压电陶瓷驱动器以其体积小、分辨率高、响应快、 可分成低压PZT和高压PZT致动器，驱动电压分别 推力大等特点有其独特的优点，但它的输出位移小， 尤其在需要较高频响场合位移输出幅度受到了很大 为100伏和1000伏左右，其中高压PZT可获得更大 的横截面，故相比低压类型常应用于更高负载的场 的限制，故目前主要应用在加工中的误差补偿、微 v f) 量进给和精密调整等场合131。 习『 。 针对精密异形曲面一般的加工要求，选择了高 为此，本文针对压电陶瓷驱动器的发展现状，