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自动化与检测 集成智能传感器的研究 曾忠林辉季成 (上海理工大学机械工程学院) 摘要：现代科学技术，特别是大规模集成电路技术的迅猛发展，以及计算机技术的日益 普及，迫切需要大量智能传感器的应用。本文将阁述了集成式智能传感器的设计原理、制造 技术和发展方向，以及智能传感器的关键技术。 关键词：集成智能式传感器 ，集成式智能传感器主要功能与特点 曩襄耋要≥萎雾盏釜詈器，乌譬鼍望手蓑孬薹裳 按照对集成式智能传感器的使用要求，它应 的数据传输速率．使系统土作在最低功耗状态和 该具有以下主要功能： 优化传输速率。 一 ：‘!篓蓑二慧定、自校正功能。 2传感器的集成化 b．自动补偿功能。 …一…、一… c．自动采集数据．并对数据进行预处理。 2．I传感器集成化的途径 d自动进行检验、自选量程、自寻故障。 (1)利用集成电路制作技术和微机械加工技 e．数据存储、记忆与信息处理功能。 术将多个功能相同、功能相近或功能不同的单个 ￡双向通讯，标准化数字输出或输入功能。 传感器件阵列集成为一维线型传感器或二维面型 g．判断、决策处理功能。 传感器。这种集成可分为三种类型： 与传统的传感器相比，集成式智自＆传感器有 ＆将多个功能相同的敏感元件集成制作在 以下特点： 同一芯片上，用来测量被测量物的线状、面状、 a．高精度：集成式智能传感器有多项功能 甚至体状的分布信息。例如CCD图像传感器即 来保证它的高精度，如：通过自动校零去除零点： 为此类传感器．它有线型CCB(LCCD)和面阵 与标准点参考基础定时对比以自动进行整体系统 CCD(SCCD)。 技定；通过对采集的大量数据用统计处理来消除 b．将多个结构相似、功能相近的敏感元件 偶然误差的影响等。 集成制作在同一芯片上，在保证测量糟度的同 b．可靠性与高稳定性：集成式智能传感器 时，扩大传感器的测量范围。例如将不同气敏传 能自动补偿因工作条件与环境参数发生变化所引 感元件集成在同一芯片上，利用各种气敏元件对 起的系统特性的漂移。当被测参数变化后能自动 不同气体的敏感效应，采用神经网络模式识别等 改换量程。能实时自动进行系统的自我检验、分 先进的数据处理技术，对混合气体的各种组成进 析，判断所采集的数据的合理性，并给出异常情 行同时监测，得到混合气体的有关信息，同时提 况的应急处理，因此可以保证高可靠性与高稳定 高气敏传感器的测量精度。这种集成还对将不同 性。 量程的传感元件进行集成，根据被测量的大小在 c．高信噪比与高分辩率：由于集成式智能 各个传感元件之间进行切换。 传感器具有数据存储、记忆与信息处理功能，通 c．将多个不同功能的敏感元件集成制作在 过软件进行数字滤波、相关分析等处理．可以取 同一芯片上。使传感器能测量不同性质的参数， 出输入数据中的噪声．将有用的信号提取出来： 实现综合检测。例如集成有压力、温度、光学、 通过数据融合、神经网络技术可消除参数状态下 流量、加速度、化学等不同功能敏感元件的传感 交叉灵敏度的影响。 器，