涂层刀具表面预处理前后X射线衍射研究.pdfVIP

涂层刀具表面预处理前后的X射线衍射研究 沈挺张志明何贤昶沈荷生夏琦李胜华 上海交通大学，上海，200030 前言 由于硬质合金衬底中所含金属钴在CVD生长过程中的催石墨化作用，在沉积金刚石前 一般要进行表面去钴处理，同时还要在表面造成一定的缺陷，以提高金刚石薄膜成核密度、 速率和附着力，经过研究，我们发展了一种新的表面预处理方法，取得了比较好的效果。 本文用X射线衍射分析对衬底表面预处理前后的结构进行了研究。 实验方法 本实验采用硬质合金刀具YG6(含钴6％)，表面预处理方法分以下三个步骤：一、 cO：微波等离子体氧化处理。二、碱处理。三、酸处理。对处理各阶段的试样表结构进行 x射线衍射分析，用扫描电镜对样品表面进行分析，样品表面的粗糙度用表面轮廓仪进行 测量。 结果和讨论 如图2(上)的S肌照片所示，未经处理的刀具表面十分光滑，粗糙度Ra=268A，经 x射线衍射分析(图1)，谱线中的6个强衍射峰为wc，还存在少量钴。经过cOz等离子 体氧化处理后的衬底表面发生了复杂的化学反应，除了wC，还有wO：，和COWO·，钴的氧化 物与钨结合生成了COCO。．刀具再经NaOH碱溶液处理后，wO。与碱反应生成能溶于水的钨酸 盐，w0，基本上被除去，仅残留少量CoWO。。刀具部分表层被除去后，下层的co叉显露出 来，所以在20=43．984处出现了Co的衍射峰，同时表面粗糙度明显增大。 为了去除表面残留的氧化物和显露出来的钴，防止钴在CVD生长过程中的催石墨化作 用，同时进～步提高衬底表面粗糙度，最后对衬底进行了酸处理。从酸处理完毕后刀具表 面的x射线衍射谱可以看出，图中只有6条wC的衍射峰，在x射线的扫描范围内，co和 CoWO。都消失了。图2(下)是处理完毕后衬底表面的SEM照片，样品表面的凹凸不平更为 明显，粗糙度Ra=932／x，是处理前的3．8倍，粗糙度大大提高，利用x射线衍射方法可以 对上述处理的效果进行检验，经上述三个步骤处理后的x射线图谱上衍射峰的线宽均没有 明显的变化，这表明样品表面的晶粒度没有什么变化，而金刚石薄膜与硬质合金刀具的附 着力大大提高，薄膜形态均匀、致密，在用该涂层刀具切削SiC颗粒增强铝基复合材料的 试验中，被切削表面的光洁度大大提高，刀具寿命提高j倍以上，取得了很好的效果。 104 结论 硬质合金刀具用上述方法预处理后，一方面提高了表面粗糙度，另一方面有效地去除 了刀具表层的钻，减少了钴在CYD生长时的催石墨化作用，较好地解决了金刚石涂层硬质 合金刀具中存在的膜与衬底之间附着力差的问题，X射线衍射分析给出了处理不同时期的 衬底表面结构形态，辅以SP2I_I及表面粗糙度等的分析，可以得到最佳的处理结果。 2e ￡慧 图1硬质合金衬底的x射线衍射图 图2硬质合金衬底的表面形貌 上原始抛光衬底 中经氧化和碱处理的衬底 下酸处理后的衬底 10,5