浮雕型全息图扫描电镜研究.pdfVIP

电r显微学报J．Chin．Electr．Microsc．Soc 浮雕型全息图的扫描电镜研究 张庆军 刊、正云 盛嘉茂 (河北理r￡学院，唐山063009) 激光全息技术是近年来迅速发展的新技术。全息图按其复振幅透射系数来区分，可分成振幅 型、位相型和混台型，位相型全息图又可分成浮雕型的干¨折射率型的“。，前者由于可以方便地大 量复制，已成为产业化的全息图的最土要类型。这种全息图一般记录于正性光致抗蚀剂的感光版 上，用碱性显影液显影时，干涉条纹的曝光部分被溶解刻蚀，形成感光版表面的浮雕结构。这种全 息图的沟槽在1mm内约有几千条。拍摄高质量的浮雕全息图有较人难度，需要严格控制各种条 件并经反复实践才行。…。全息I生j的质量是垒息记录的方法．记录时的参物比、曝光量、光程差的 稳定性、激光的偏振特性、显影液的配方、温度、显影时『IⅡ1等众多因素共同作用的结果，而这些因 素的作用都会体现在全息图的微观结构上，全息图质量的最主要指标如亮度、对比度等都与微观 结构直接相关2]。对浮雕全息图的全面电了显微镜研究国内外尚未见报道，本文对一些典型的浮 雕全息图进行了扫描电镜观察，把微观结构与伞息图的光学