基于LIGA技术微细电火花加工研究.pdfVIP

特种加工技术 l 基于LGA技术的微细电火花力n-r-研究 彭良强‘伊福廷1张院春2邹丽芸2张菊芳。韩勇1 (1中国科学院高能物理研究所2北京市机电研究院) 摘要：实验探讨了采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术。通过同步 辐射深度光刻得到具有微细结构的胶模具，使用电铸技术得到镶嵌在胶结构中的铜工具电 极，击胶后利用该电板进行微细电火花加工实验，在不锈钢上加工出异形微细孔。 关键词：微细加工LIGA技术电火花加工 ，。， (2)显影，得到导电基板上的光刻胶微结 1刖莓 构； 随着微型机电系统(MEMS)的崛起和工程 (3)在光刻胶微结构中电铸金属铜； 技术领域对微型机械的迫切要求．微细加工技术 (4)表面磨抛后去胶，得到铜工具电极； 的研究成为整个微机械领域的一个重要发展方向 (5)利用工具电极，在