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中国机械工程第16卷增刊2005年7月
超薄铝膜的制备与透光率的研究
付光宗1 杨丰帆1 杨小红1’2 廖克俊1 刘高彬1
1．重庆大学，重庆，400044
2．重庆师范大学，重庆，400047
摘要：当铝(A1)膜的厚度在lOOnm时，可以作为一种光学薄膜使用。用这种超薄铝膜制成光学元件具有耐
激光以及损耗小等特点，在大功率激光系统中将得到应用。利用高纯铝靶，运用直流磁控溅射法制备了超薄铝
膜，利用双光束分光光度计研究了其光学性质，测试了超薄铝膜的制备条件，如X-作压强、靶基距、溅射时间等
对薄膜的光学性质的影响。得到了工作压强、靶基距及溅射功率与薄膜的光学性质之间的关系。
关键词：超薄铝膜；透射率；光学性质；直流磁控溅射
中图分类号：TB43 文章编号：1004一132x(2005)S1一0352一03
on
Transmittanceon
Study UItrathinAluminumFilm
Property
Fu Liao LiuGaobinl
Guangzon91YangFengfanlYangXiaohon91’2Kejunl
1．ChongqingUniversity，Chongqing，400044
Normal
2．ChongqingUniversity，Chongqing，400047
thethicknessofaluminumfilmiS canbe
Abstract：When below100nm，fine obtained．Forthead—
opticalproperty
of laserandlow ultrathin
aluminumfilmcanbe in laser
vantagesresisting ullage，the applied system．Ex—
high—power
trathinaluminumfilm made
was ofa aluminum DCreactive
99．99％pure targetby sputtering．Thespec—
magnetron
was the
trophometer tO transmissionof between and
appliedanalyze spectrumsamples．Therelationshipspectrum
as of and asthe
conditions，such substrate，aswell timewere
preparation pressure，dista
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