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一种基于MEMS技术的红外热探测器研究与设计——王佳能温志渝张流强 一种基于MEMS技术的红外热探测器研究与设计 王佳能 温志渝 张流强 重庆大学，重庆，400044 摘要：为了提高传统探测器的响应度和灵敏度，利用微机电系统(MEMS)的方法设计了一个微梁红外热探 测器。对硅基微悬臂梁红外热探测器的工作原理进行了详尽的分析。设计了一个实验平台来测量微悬臂梁的变 形，实验结果表明，基于MEMS技术的红外热探测器有良好的性能。 关键词：MEMS；微悬臂梁；优化设计；响应时间；灵敏度 X(2005)$1～0235一03 中图分类号：TH811；TH89文章编号：1004—132 and ofIRMicrocantileverThermalDetectorBasedOnMEMS DesignStudy Wen WangJianeng ZhiyuZhangLiuqiang ChongqingUniversity，Chongqing，400044 ordertO the and ofIR forwardanewkindof Abstract：In detector，The improveresponsibilitysensitivity paperput detectorbasedonthe ofMEMS．This the ofdetector．The technology paperparticularlyanalysedtheory experimental resultsshow IRdetectorbasedon ofMEMShas that，the performance． technology good of words：MEMS；microcantilever；optimizationresponse；sensitivity Key design；time 0 引言 的响应度和灵敏度，本文基于MEMS技术设计了硅基梁 红外热探测器。 红外探测器分为红外热探测器和红外光子探测器两 种。红外热探测器由于比光子探测器成本低，而且对于热 1 红外热探测器的工作原理 探测器而言，一般地对红外光(IR)的波长没有太大的选 1．1双金属特性原理 择性。另外，热探测器可以在室温下很好地工作，但热探 在这里设计一个微悬臂梁作为吸热体。微粱为双材 测器的灵敏度不是太高，响应时间慢。为了提高热探测器 料结构，即在微梁上面镀上一薄铝层。当有IR辐射在微 梁上，由于梁的双金属效应产生弯曲，测量到微粱的弯曲 收稿日期：2005—04—07 就探测到IR。如图la表示梁没有IR的辐射，应力S。= 基金项目：国家自然科学基金资助项目 S：，梁所受的综合力F，与梁的轴线平行，梁没有弯曲。图 厚度t一6pm，厚度比为1的情况下，提取模拟得到的应力的偏转角0值即灵敏度，所以应该根据整个