键合硅铝丝疲劳特性探究方法.pdfVIP

键合硅铝丝疲劳特性研究方法 * 刘志伟 漆明净 闫晓军 （北京航空航天大学， 100191 ） 摘要 键合硅铝丝是 IC 封装行业中广泛使用的材料，其直径一般为微米级别。由于硅铝丝 直径的限制，对其开展疲劳研究较为困难。本文以键合硅铝丝所制成的悬臂微梁为研究对 象，基于金属微梁在正负电极之间自激振动的特性，提出了一种针对细小直径金属丝振动 疲劳问题的试验方法，并以此平台开展了键合硅铝丝振动疲劳问题的研究。研究中利用高 速相机捕捉微梁的振动形态和幅值，通过 Ansys 有限元分析软件计算悬臂梁的受力情况， 得到了相应的 SN 曲线和振动频率特性。 关键词：硅铝丝，自激振动，振动疲劳 一、 简介 1.1 研究背景 引线键合，是指通过 Au 、Al 等微细金属丝对集成电路中某些工作电极实现电气连 接的过程。随着集成电路（IC ）工作频率和集成度不断提高，封装成为高频集成电路设 计的技术瓶颈，目前用于封装技术的键合丝直径已经达到微米级别（一般为 20-50μm ）。 [1] [2] 键合丝 在工作中可能发生振动疲劳、弯曲疲劳和热机械疲劳 等，它的疲劳失效会直 接导致集成电路的报废。由于键合丝直径太小，对键合丝开展疲劳研究难度较大[3]，因 而探索键合丝疲劳研究的新方法对正确认识键合丝疲劳特性有很大的意义。 1.2 试验方法简介 本研究采用的试验材料为键合硅铝丝，直径为 25.4μm 。试验件设计较为简单，截 取有效长度为 15mm 的一段键合丝，制成一端固支的悬臂微梁结构，将其置于两圆棒电 极之间，两侧电极分别连接直流电源的正负极。悬臂微梁由于静电场的作用，会激发稳 定的大幅振动，通过调节加载电压的大小，可以调节微梁的振动幅值。微梁振动中与电 极接触，产生电压脉冲，通过设计的计数电路可以拾取脉冲电压进行计数，以确定微梁 的振动循环数。试验件具体参数：微梁长度 l=15mm，直径 d=25.4μm ，圆柱电极长度 L=25mm，电极直径 D=3mm ，电极圆心距 X=12mm ，微梁固定台高度 h=3.3mm 。简化 的试验方案如图 1 所示。 图 1 试验方案简化图 * 报告人简介：1991.4-，实验力学，研究生：liuzhiwei1991@163.com 390 二、 试验过程及分析 2.1 微梁的疲劳寿命试验及硅铝丝拉伸试验 利用上述的试验装置，试验中第一步针对七个不同电压值进行了微梁的疲劳寿命试 验，选用电压分别 3.05kV、3.25kV、3.45kV、3.75kV、4.0kV 、4.25kV 和 4.5kV 。不同 电压下，微梁的振动幅值不同。在同一电压下，进行了多组试验，用于分析疲劳寿命的 分散性。 为了确定微梁根部最大的应力，通过高速相机捕捉到不同电压下微梁的最大振动幅 值，由于金属丝振幅较大，可能并不处于线弹性状态，因而本研究采用自行设计的拉伸 机构对金属丝进行了拉伸试验，得到其应力应变曲线。 2.2 试验分析 结合不同电压下微梁的振幅和金属丝的拉伸应力应变曲线，利用 Ansys 有限元分析 软件，计算得到不同电压对应的悬臂梁根部最大应力，进而得到不同应力对应的疲劳寿 命，以此得到 SN 曲线。在同一电压下，也进行了多组试验，即同一应力水平下，得到 了多组疲劳寿命数据，在 SN 曲线的基础上，可以进一步得到PSN 曲线。此外，针对应 变和寿命关系，对试验数据进行了 Mason-Coffin 公式拟合。 试验中，针对微梁振动频率特性也进行了分析。分别比较了不同电压下微梁的振动 频率和同一微梁全寿命振动周期内振动频率随振动循环次数的关系，两者分别对应的频 率与自激振动能量和振动损伤量的关系。 利用扫描电子显微镜，观察微梁微观结构[4]和根部的疲劳微观断口，结合经典裂纹 萌生和扩展理论分析微梁的疲劳断裂过程[5] 。