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摘 要
随着我国社会经济的发展，现代企业建设发展十分迅速，同时也对企业的基础设施建设提出了更高的要求。而厂矿企业对供水供液的要求也越来越大，在供液系统方面面临的矛盾和问题日益突出。随着企业生产对供液质量和供液系统可靠性要求的不断提高，利用先进的自动化技术、控制技术，设计出高性能、高节能、能适应供液系统复杂环境的恒压、稳流等优良的供液系统成为必然趋势。
本课题针对芯片抛光车间生产的特点，对芯片抛光车间的供液系统管路进行了研究，采用合理方案对供液系统进行了优化设计。相对于传统的供液管路系统，本课题主要在供液原理、空间布局，设备选型等方面进行了改良，并用相关软件进行了空间布局和结构安装图的绘制。
关键词：芯片抛光车间 ，供液管路 , 恒压 ，稳流
ABSTRACT
With the development of society and economy, Not only the modern business building develop very rapidly, but also the requirements on corporate infrastructure put forward higher. The requirements of industrial enterprises for water supply is also growing and Contradictions and problems in the hydraulic system faced increasingly prominent. The flow of fluid supply system that use advanced automation technology, control technology , has a high-performance, high energy ,and be able to adapt to the complex environment of the fluid supply system constantly, steadly has become an inevitable trend.
This topic, for the chip polishing workshop production characteristics , the liquid supply system piping chip polishing workshop were studied and using reasonable solutions for the fluid supply system optimized design . Compared to conventional liquid supply piping system, the main topic was modified in principle for the fluid , spatial layout, equipment selection, etc. At last , draw out the space-related software insallation diagram of the layout and structure.
Keyword: chip polishing workshop , liquid pipeline , constant , steady flow
目录
1 绪论 1
1.1课题的工程背景及意义 1
1.2国内外发展研究现状与发展趋势 1
1.3本说明书的主要研究内容 5
1.3.1芯片抛光车间供液系统管路的空间布局设计 5
1.3.2供液管路系统及其配套设施的设计 5
1.3.3供液方式设计 5
1.3.4系统选材 6
1.3.5芯片抛光车间供液系统布局图 6
1.4课题研究设计流程图 6
2 总体方案设计 7
2.1空间布局设计 7
2.2系统主要参数设计 10
2.3供液方式设计 10
2.3.1供、排液管同程循环系统设计 10
2.3.2循环水泵多台并联设计 11
2.3.3变频调速技术 12
2.3.4控制系统工作原理 12
2.4系统安装注意事项 13
2.4.1总体安装特别注意事项 13
2.4.2管道安装 13
2.4.3变频器安装 14
2.5本章小结 15
3管道系统选型 16
3.1流量与管径、压力、流速的一般关系 16
3.2管径、压力与流速计算 18
3.3本章小结 20
4配套系统的选型 21
4.1泵的选型 21
4.2 阀门的选型 25
4.3传感器的选型 26
4.4变频器的选型 28
4.4.1在选择变频器的容量时最基本的原则 28
4
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