我国直流电弧等离子体喷射金刚石膜制备技术历史、现状与趋势.pdfVIP

第 26卷 第 2期 超 硬 材 料 工 程 Vo1．26 2014年 4月 SUPERHARD MATERIAI ENGINEERING Apt．2014 我国直流 电弧等离子体喷射金刚石 膜制备技术历史、现状与趋势① 吕反修 (北京科技大学材料学 院，北京 100083) 摘 要 ：在热丝 CvD (HFCVD)，微波等离子体 CVD (MWCVD)，直流 电弧等离子体喷射 (DCArePlas— maJet)和 燃烧 火焰沉积 (FlameDeposition)四种应 用最广 泛 的金 刚石膜 制备 方法 中，DCArcPlasmaJet 被认为是最有工业化应用前景的技术。在我 国863计划的大力支持下，北京科技大学和河北省科学院紧 密合作 ，采