表面改性一体化设备的研制.pdfVIP

表面改性—体化设备的研制 李中岳 王平 (航天科技集团公司504所) 摘要根据航天设备对表面膜层的特殊要求，特对表面工程技术和设备进行了长期的、专 门的研究，现已完成。文中提出了集金属离子注入、磁控溅射、电弧离子镀和真空系统等 多功能为‘+体化的新型设备研究方案，解决了多功能一体化的设各关键技术，实现了多种 功能集成为一+体的新型设备。提出了多种工艺技术有机结合、综合使用的新型练合工艺研 究方案，解决了综台工艺的关键技术，完成了综合使用的新型工艺．达到了表面改性和成 摸的特殊要求。本文重点介绍设备的研制。 关键词表面工程金属离子注入磁控溅射 电弧离子镀表面改性／一体化设备 l +， 1 设各的组成 1．1强流金属离子注入系统 由MEnrA(金属蒸汽真空弧离子源)离子源体、高压舱(包括触发电源、 主弧电源、60000V高压电源、负高压源、控制部分等)、控制柜和循环冷却 系统组成。 金属离子源是该项目的关键部件，该源利用阴极和阳极间的真空弧等离 子体放电，由阴极材料表面直接产生高密度金属等离子体，经三电极系统引 出而形成强流金属离子束。把wA源具有许多突出优点： ●可产生元素周期表中从锂到铀的所有金属离子 ●金属离子束流强 ●离子电荷态高，离子能量60KeV ●离子纯度高，不需要质量分析 ●大束斑 原理图如下： J舄 。Sj一一7．、，。。。]，‘：j ，， 州幢和H基吧诅 ■蛆 3l业屯扭 图1 ll{EvvA离子源原理图 1．2电弧离子镀膜系统 由电弧源体、弧源大电流低电压电源、偏压鬼源和控制箱组成。 电弧离子镀弧放电的起弧原理是：当阴极和阳极之间加上电位后，在阴 极表面的尖端突起处电场强度大，大量电子易从此处发出，电子流的集中发 射引起更多的离子轰击，其结果是该处温升聚增。电焊机相连的触发器于阴 极接触和断开的瞬间有大电流通过，局部温度突然升高直到超过阴极材抖的 熔化温度．这个过程引起弧放电，在阴极表面烧出熔化的坑。坑被活化后， 坑中大量的电子和金属汽化原子飞溅到等离子体内．向外扩散。原理图如下： 1阴极2一屏蔽罩3螺钉4j一真空室壁牛绝缘套 ?一密封圈8-冷却廉座9绝缘套10气管套u一螺母 12一水管13充气管H一密封圈15-螺钉16_垫髑 I?吲弧电极18永磺体 图2 电弧蒸发源结构示意图 1．3磁控溅射系统 由真空室、各种溅射靶、高低压电源柜、工件转动机构、烘烤机构等部 分组成。 154 1．4真空系统 由真空机纽、扩散泵，机械泵等组成。 1．5设备照片 偏压电源离子}主入系绕磁控溅射系绩真空系统电弧离子镀系统 图3 表面改性～体化设备实物照片 2 设备研制中解决的有关问题 此设备结构复杂，由四个系统组成，部件多，功能多，必须要进行分系 统的研制和解决一体化的关键技术。 设备分系统研制方面，我们在设各真空主体上，解决了真空度的问题， 真空室与地绝缘问题、防x射线技术等主要问题。 在解决～体化问题上，金属离子注入、磁控溅射、电弧离子镀这三种技