基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究.pdfVIP

第 卷第 期 仪 器 仪 表 学 报 年 月 ## 7 # 8 基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究! # 张 昱 金心宇 陈抗生 王跃林 浙江大学信息学院 杭州 $ %#’( # 上海冶金研究所 传感技术国家重点实验室 上海 $ #)( 摘要 本文介绍了一种新颖的基于单片机的硅微机械谐振传感器测量方法及其实现 在微传感器工作原理理论分析的基础 * 上 证明其适合于真空环境测量 利用闭环测控电路方式 使整机具有良好的灵敏度和可靠性 讨论了测量仪的测量原理 硬 + * + * , 件组成和软件设计 该测量仪的真空度测量范围接近 # . 具有可靠性高 响应速度快等优点 * - + , * /0 关键词 硅微机械谐振传感器 单片机 闭环测控 真空测量 123445 672849757:;;4=?:@A@3?:6@39?573B2:@32AC78?:2;?9D287=?: @:EA73B@F6@39?3?5F4;79 # GH0IJKL MNIONIPL QHRIS0IJTHRIJ U0IJKLRVNI W $ + + oWppqr+ ( XYZZ[\[Y]^_]Y‘abcdY_ ef[gdb_\h_di[‘jdck lb_\mfYn Xfd_b q $ + + qppp{p+ ( scbc[t[kubvY‘bcY‘d[jY]w‘b_jxny[‘w[yf_YZY\k sfb_\fbd^_jcdcnc[Y]z[cbZZn‘\k sfb_\fbd Xfd_b |}8;923; ~HNT!0!R!RTRI#T0I$%RVR0TLRRI#R#H$’0I’TPT#R ($#HRTNVN)$IN)$R)HIN)0V + RT$I0#$*0TR’$I#HRTNIJVR)HN!N)$)$!L#RTPT#R ,0TR’$I#HR#HR$R#N)0V0I0VPTRT$(#HR$!R0#N$I + !NI)N!VR $(#HR N)$TRIT$ N# H0T *RRI ’R$IT#0#R’ #H0# #HR TRIT$ NT TLN#R’ ($ #HR %0)LL + -