多层膜的研究进展.pdfVIP

第 卷 第 期 大 连 铁 道 学 院 学 报 年 月 比 四 多层 膜 的研 究进展 薛枉 芝 材料科学与工程系 摘 要 多层膜是近 年发展起来 的材料科学研究的新领域 本文介绍 了多层膜 的国 内外研究 、 概况 , 多层膜 的构成 特性及 其主要 的制备方法 , 并指 出了近年来多层膜研究的进展情况 关键词 金属 薄膜 特性 制备 进展 多层膜 中图分类号 多层膜 的研 究是 近 年 开 展起来 的 它 是 表 面工程 、 薄膜 技 术 深人 发 展 的结果 由于 它 与材 料科 学 、 真空 技 术 、 表 面 物 理、 电子 离 子 物 理 有 着 密 切 关 系, 所 以近 年 来 从 理 论 、 制 备工 艺 、 设备研 制 、 分析 测 试 技 术 到 应 用 已 经 形 成 一个 系 统 的研 究领域 国 际上 发 达 国家 的多层 膜研 究进 展 迅 速 年代起 美 国 的西 北大 学 、 斯 坦福 大 学 、 玻 克莱 实验 室等 单位先后 成立 了 多 层 膜研 究 的攻 关课题 组 , 对金属 多层膜 进 行研 究 西 欧 的 德 、 法 、 英 、 荷 等 国对 多层 膜 的研 究亦发展较 快 年这几个 国家 的科 学 家组 成多层 膜研 、 究 的联合体 , 交 流研 究成 果 , 分 析 美 国 日本 的研 究动 向, 并得 到 欧共 体 的支 持 日本 的 研 究进 展 较 快 , 日本政府 大量 拔款 支持 多 层 膜 的研 究 我 国多层 膜 的研 究 自 年 代开 始 , 主要 在 研 制 软 射 线光 学 多 层 膜 方 面 取 得 初 步 成 果 在 长春 光机 所 、 复旦 大学 、 中国科 技 大 学 、 上 海 光 机 所 等 单 位 开 展 了 这 方 面 的研 究