冲刷传感器技术说明.doc.docVIP

冲刷传感器 产品用途 该产品用于运动物体表面涂层冲刷、烧蚀程度测量。 参数指标 工作温度：-50-1800℃ 精度：0.5mm 测量范围：0-5mm 输出方式：多级开关量输出 产品主要材料：基片（刚玉陶瓷）；电阻丝（钨或钨铼合金丝） 产品原理 产品使用耐1800度高温的材料烧结制成，输出信号为开关量信号，产品埋入要测量的涂层内部，当与其连接的涂层被磨损后，与磨损涂层厚度相对应的膜片电阻在表面冲刷力的作用下也断开脱落，形成开关量输出，指征涂层磨损厚度。 制备工艺流程 传感器示意图如图1所示： 图1传感器示意图 在刚玉陶瓷基片上加工出9条宽度为0.15mm，深度为0.3mm的几形槽，相邻槽中心线的距离为0.5mm,1#槽顶端距基片顶端0.4mm。 在基片上的几形槽内布上直径为0.1mm的钨丝，每根钨丝的两个端点分别自基片底端引出（如图1）。传感器在工作时竖直埋入涂层中，基片顶端处于涂层上表面，涂层磨损小于0.5mm时，1-9#的相应节点间的状态都为导通，当1#的两节点间信号为断开时表明涂层磨损达到了0.5mm，2#两节点断开时表明涂层磨损达到了1mm，余此类推。 在距基片0.1mm处，喷涂一层宽度为0.2mm的高温封接材料，图1蓝色区域，将传感器盖片对齐后覆盖在基片上，加1KG压力在Ar保护下1500℃烧结0.5h，完成基片与盖片的封接。 盖片短于基片2毫米，在基片底端2mm处完成引线的接出，然后用工作温度1300℃的封接材料进行封接。 烧蚀传感器 产品用途 该产品用于物体表面涂层烧蚀程度测量。 2、参数指标 烧蚀温度：800℃ 精度：0.5-1mm 测量范围：0-5mm 输出方式：阻值变化对应于涂层烧蚀厚度。 主要材料：刚玉瓷、BaTiO3、Sm2O3、滑石瓷粉 3、产品原理 传感器采用电阻温度系数很小的半导体复合材料，产品埋入要测量的涂层内部，传感器上表面位于涂层上表面，当涂层烧蚀后，半导体材料也被烧蚀，材料的截面积与材料剩余高度成正比，材料的电阻与截面积成反比，因此材料的电阻可以反映涂层厚度变化。 4、制备工艺流程 半导体材料结构示意图如图1所示，传感器结构图如图2所示。 图1 半导体材料结构 图2 传感器结构 （1）采用电子级BaTiO3粉、Sm2O3粉、和滑石瓷粉为原料，按一定比例混合均匀，在氩气保护下1100℃热压烧结。BaTiO3为正电阻温度系数材料，Sm2O3为负电阻温度系数材料，且系数均随温度波动很小，所以调整复合材料中两种材料的相对比例可获得温度系数很小的材料。滑石瓷为绝缘材料，控制复合材料中滑石瓷含量可将电阻率控制在103Ω·cm。 （2）将获得的半导体材料加工成图1所示形状，在A、B凹槽处分别引出A、B接线，A、B间的电阻由半导体材料的截面积决定，与半导体材料的高度成反比。工作时测量A、B间电阻值即可换算出涂层的剩余厚度。 （3）将两个开槽的半圆形刚玉套管对合，用耐高温的无机胶粘接接合面，将半导体材料卡入套管中固定，传感器的结构如图2所示，完成传感器制备。