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第 6 卷 第 2 期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 Vol. 6 No. 2
2008 年 3 月 Nanotechnology and Precision Engineering Mar. 2008
基于锆钛酸铅薄膜的变形镜微致动器
吴亚雷 , 刘 爽 , 刘 芳 , 许晓慧 , 文 莉 , 褚家如
( 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系 , 合肥 230027)
( )
摘 要 : 以锆钛酸铅 PZT 薄膜作为驱动材料 ,制备了变形镜的微致动器阵列. 使用有限元软件对致动器进行了模
拟仿真 ,得到了驱动器上电极尺寸 、Si 弹性层厚度等参数对致动器性能的影响 ,获得了最优化的致动器结构. 以钙
( ) ( )
钛矿相的镍酸镧 LNO 作为 PZT 薄膜在 Pt 衬底上生长的缓冲层 ,增强了 PZT 薄膜的 100 取向 ,减小了 PZT 薄膜的
内部应力 ,提高了致动器的驱动性能. 最终制备出的 1 μ
m 厚 PZT 薄膜驱动的变形镜微致动器 ,在 10 V 直流电压的
μ
激励下 ,具有 20 m 的变形量. 以PZT 薄膜作为驱动材料制备的变形镜微致动器阵列 ,对变形镜致动器的微型化和
系统集成度的提高具有重要意义.
关键词 : 变形镜 ; 微致动器 ; 锆钛酸铅薄膜 ; 镍酸镧
( )
中图分类号 : TN256 文献标志码 : A 文章编号 : 2008
Microactuators of Deformable Mirror Using PZT Thin Film
WU Yalei , LIU Shuang , LIU Fang , XU Xiaohui , WEN Li , CHU Jiaru
(Department of Precision Machinery and Precision Instrumentation ,
)
University of Science and Technology of China , Hefei 230027 , China
Abstract : Microactuators of deformable mirror were fabricated by micro electromechanical system (MEMS)
technology using lead zirconate titanate (PZT) thin film as driving material. Finite element model of the micro
actuator
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